ビーム 安定化システム 基本原理
希望のレーザのポジションと角度は、1台または2台の ディ テクタ(4-QD、または PSD)によって定義されます。
その検出に必要なレーザビームは、高反射偏向ミラーを透過してくるレ ーザ出力のごく一部で十分です。
クローズド・ループ・コントローラによって、ターゲット位置か らのレーザ光の偏差を連続的に判定します。
このシステムは、 ピエゾ作動型ミラーを必要とされる位置で継続的に駆動する ことで、偏差を補正します。
下図は典型的なセットアップ例です。
台のアクチュエータと 2台のディテクタを使用して、4次元(4D)でビームを安定させ ています。
このセットアップでは、まず アクチュエータ A / ディテクタ A のセットでアクチュエータ B の安定したポジションを維持しま す。
次に、アクチュエータ B /ディテクタ B のセットにより、ア プリケーションの正しいビーム方向が確定させます。
応用一覧 では様々なセットアップを掲載 しています。併せてご覧ください。