MRC Systems

レーザビーム安定化システム アプリケーション 一覧


ほとんどのアプリケーションで適用可能な標準セットアップは、
下図のセットアップ 例1 と例 2 のようになります。
本アプリケーションノートでは、代表的なアプリケーションを取り上げて、
可能なセットアップと推奨されるシステム構成をご紹介します。
ビーム安定化システムはモジュール構造を採用しているため、すべての用途に対応可能です。
カスタマイズされたソリューションや個別の採用も可能です。

1.複数テーブル上でのセットアップ

複数テーブル上でのセットアップ

レーザビームが複数のテーブル上を伝搬する場合は、
ビーム安定化システムを使用して安定したビーム伝送を
確実におこなうことができます。

この目的では、2 枚のミラーアクチュエータと 2 台のディテクタを持つ
標準構成が通常使われます。
アクチュエータ A
はレーザ光源に近いテーブル 1 に設置されています。
アクチュエータ B はターゲットと距離が近い場所に設置されています。
検出器は両方とも HR ミラーの裏側に設置すると、
リーク検出をおこなうことができます。

2.ファイバカップリング

2.ファイバカップリング

ファイバカップリングのアプリケーションでは、ビーム安定化システムは、ビームがファイバの最適位置と角度に常に当たることを確実にします。これにより、ファイバ出力側で安定したレーザ出力が得られます。

ビーム安定化コンポーネントのセットアップは非常にシンプルです。
アクチュエータ A はレーザ光源の向こう側の最初のミラー位置に設置します。アクチュエータ B はビームが完璧にファイバーに当たるように設置します。将来的に簡素化するために、「アジャストイン」オプションとして、電気的にビームを微調整してファイバに導入することもできます。

3.移動ステージ(レーザマイクロ加工)

3.移動ステージ(レーザマイクロ加工)

移動ステージあり / なしのレーザ加工では、ビーム安定化システムは
すべての温度ビーム偏差と機械ビーム偏差に対して補正します。
システムは、既存のマシン設計に容易に統合可能です。
信頼性が高く堅牢な本システムは、年中無休の稼働を保証します。

「外部アクティベーション」や「サンプル & ホールド (ADDA)」などの
追加機能により、産業用途にも完璧に対応します。
「広域強度検出器」を使用することで、さまざまなレーザ強度にも
対応します。

4.ポンプ・プローブ実験

4.ポンプ・プローブ実験

ポンププローブ実験の単一ビームまたは複数ビームも安定化できます。
当社の例では、ディレイライン付きのプローブビームのみが
安定化されています。2 つのアクチュエータとディテクタのペアが、
ディレイステージの偏差を補正し、確実にプローブビームが
ターゲットに当たるようにします。

必要に応じて、2次システムを使用してポンプビームを
安定化することもできます。

5.4Dディテクタのセットアップ

5.4Dディテクタのセットアップ

両方のディテクタをターゲットに近づけて設置することがより好ましい場合もあります。このアプローチでも、ビーム安定化システムを使用することが可能です。
ディテクタ A はビームのポジションの安定化させます。
ディテクタ B は角度偏差を識別するためにレンズの焦点位置に設置します。これによりビームの角度を安定化させます。

6.遠隔微調整

6.遠隔微調整

コンポーネントが届きにくいところや動くターゲットポイントを持つ
アプリケーションなどの安定化には、オプションの「アジャストイン」機能が推奨されます。
これは通常、4-QD の代わりに、PSD と組み合わせます。
PSD では、4-QD が 4 クオドラントの中心を使用しているのに対し、
その敏感なエリアでターゲットのポジションを自由に定義できます。

「アジャスト・イン」機能を使うと、PSD 上のターゲットのポジションは電気的に選択することができます。
これにより、ビームの手動微調整することなく、ターゲットの位置を
変更できます。

「アジャスト・イン」機能の詳細はマニュアル 9.2 をご確認ください。



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