ナノインプリント用樹脂

高精度、高スループットな高屈折率ナノインプリント樹脂

ナノインプリントとは、ナノスケールの凹凸パターンを形成したスタンパーを、樹脂が塗布された基板に押し当て、加熱または光硬化を行って樹脂に凹凸パタンを転写する加工技術です。
従来のナノスケール加工技術と比較し、簡便かつ低コストに加工できることから、次世代の大量生産技術として注目されています。

本樹脂は高屈折率を特徴としたナノインプリント用樹脂であり、高屈折率による機能性精密パターン作製に適用できます。

特長

高屈折率を実現

633nmで >1.7。光学部品の小型化を可能にします。

高透過率

高屈折率な材料であるにもかかわらず、波長 400nm 帯でも透過率は 90% 以上と高透過率を実現しています。

#18210 #18210

#18247 #18247

高精度加工を実現

ナノインプリントは加熱工程が不要であり、ナノレベルの高精度なインプリントが可能となります。

高精度加工を実現

溶剤あり、なしの選択が可能

溶剤を含んだ #18210 は < 1µm の薄膜の作成に適しています。

溶剤を含まない #18247 では >2-3µm の膜を作成することが可能です。

  • 溶剤を揮発させる加熱工程が必要ありません。
  • 樹脂に直接モールドを押し付けインプリントする方法が可能です。
  • 溶剤による基板への影響の心配がありません。さらにバルクフィルムの製作が可能です。

仕様

型番[主成分] 硬化条件 (UV):プリベーク 硬化条件 (UV):照射強度(mW/cm2) 硬化条件 (UV):時間(min) 屈折率(硬化後)@589nm 粘度(mPa * s) ガラス転移温度(℃) 透過率
450nm / 540nm / 630nm
硬化収縮率(%)
#18247 100 1 1.710 138 125 95% / 96% / 97%(厚さ 50µm) 7
#18210 115°C 1min 100 5 1.725 15 100 94% / 95% / 95%(厚さ 2µm) 6

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