スリットスキャン型ビームプロファイラー

スキャンスリット（走査スリット）型のビームプロファイラ—はSi、InAs、InGaAsのセンサーを選択することが可能です。
『回転走査スリット型』では、Si/InGaAs ２つのディテクターを搭載し、１台で幅広い波長に対応したBeam'R DDや、
ビーム径、M²などを測定可能なBeam Map2シリーズなどユニークなプロファイラーをラインアップ。
また、『リニア走査スリット型』で1/e²、FWHMのビームサイズが測定可能。
（楕円形ビームも測定可）オプションステージとの組み合わせにより最大 45×23mm 以下のビーム径の測定が可能です。