XYZΘΦ走査スリット型 ビームプロファイラー
BeamMap2
BeamMap2 は回転スキャンタイプのビームプロファイラであり、ビームの移動に沿った複数位置で測定可能な、Beam'R2 の発展機種です。
BeamMap2 は、リアルタイム・ビーム・プロファイリングの核心的なアプローチです。
このリアルタイムスリットスキャニングシステムは、回転するパック上の XY スリット対を使用して、4 つの異なるZ位置でビームプロファイルを同時に測定します。
BeamMap2 のユニークで特許取得済みのデザインは、フォーカス位置、M2、ビームダイバージェンス、ポインティングのリアルタイム測定に最適です。
測定波長に関しては Beam'R2 と同様なオプションが可能です。
特長
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幅広い波長に対応
・ 190～1150nm、Siliconディテクタ
・ 650～1800nm、InGaAsディテクタ
・ 1000～2300nm または2500nm、InGaAs (extended) ディテクタ - Multiple plane spacing (平面多重測定) オプション有り
- ビーム径5µm～4mmまでのレーザに対応 (Siディテクタ、Knife Edgeモード 1µm設定時)
- 0.1µmの測定分解能
- Linear & log X-Y profiles, centroid
- プロファイルズーム&スリット幅補正機能あり
- Real-time multiple Z plane scanning slit system
- リアルタイムXYZプロファイル、フォーカスポジション
- リアルタイムM²、Divergence、Collimation、Alignment測定
- USB2.0接続、バスパワー駆動
用途
- レーザープリンティング及びマーキング用レーザーの測定
- 医療用レーザーの測定
- 半導体レーザーシステムの測定
- 通信用ファイバーオプティックの組立焦点合わせ（要 LensPlate2オプション)
- 研究開発、生産現場、フィールドサービスでの使用
- CW、Pulseレーザー、⌀µm [500/(PRR in kHz)]
仕様
| Wavelength | Si detector: 190 to 1150 nm InGaAs detector: 650 to 1800 nm Si + InGaAs detectors: 190 to 1800 nm Si + InGaAs (extended) detectors: 190 to 2300 or 2500 nm |
|---|---|
| Scanned Beam Diameters | Si detector: 5 µm to 4 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode* InGaAs detector: 10 µm to 3 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode* InGaAs (extended) detector: 10 µm to 2 mm, to 2 µm in Knife-Edge mode* |
| Plane Spacing (4XY models) | 100 µm: -100, 0, +100, +400 µm 250 µm: -250, 0, +250, +1000 µm 500 µm: -500, 0, +500, +2000 µm 750 µm: -750, 0, +750, +3000 µm |
| Plane Spacing (3XYKE models) | 50 µm: -50, 0, +50, 0 µm 100 µm: -100, 0, +100, 0 µm |
| Beam Waist Diameter Measurement | Second moment (4s) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat 1/e² (13.5%) width User selectable % of peak Knife-Edge mode* for very small beams |
| Beam Waist Position Measurement | ± 20 µm best in X, Y, and Z — contact DataRay for recommendation |
| Measured Sources | CW; Pulsed lasers, F µm = [500/(PRR in kHz)] |
| Resolution Accuracy | 0.1 µm or 0.05% of scan range ± < 2% ± = 0.5 µm |
| M² Measurement | 1 to > 20, ± 5% |
| Divergence/Collimation, Pointing | 1 mrad best — contact DataRay for recommendation |
| Maximum Power & Irradiance | 1 W Total & 0.5 mW/µm² |
| Gain Range | 1,000:1 Switched 4,096:1 ADC range |
| Displayed Graphics | X-Y-Z Position & Profiles, Zoom x1 to x16 |
| Update Rate | ~5 Hz |
| Pass/Fail Display | On-screen selectable Pass/Fail colors. Ideal for QA & Production. |
| Averaging | User selectable running average (1 to 8 samples) |
| Statistics | Min., Max., Mean, Standard Deviation Log data over extended periods |
| XY Profile & Centroid | Beam Wander display and logging |
| Minimum PC Requirements | Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port |
* Knife-Edge mode requires 3XYKE model
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※製品仕様は改良等により、予告なしに変更となる場合あります。
技術資料
データシート
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図面
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