回転スリットスキャン式ビームプロファイラー
Beam'R2／BeamMap2
Beam'R2 シングルプレーン・高速スリットスキャン
BeamMap2 マルチプレーン・スリットスキャン
回転スキャン方式にてビーム径、M² などを測定します。 コリメートビーム測定バージョンもあります。 Si/InGaAs どちらも搭載した製品もあります。
2.65 x 2.4 x 2.7" (W x H x D)
| Parameter | Beam'R2 | BeamMap2 | コメント |
| Wavelength options | 190-1000 nm, 650-1800 nm, 0.8-2.5 µm | Si, InGaAs Extended InGaAs |
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| Scanned beam diameters | 0.5 µm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X) | BR2 has KE mode for <5µm, BMS2-3XY50KE-XX <5µm | |
| X-Y Profile & Centroid Resolution: Accuracy: |
Beam Wander display and logging 0.1 µm or 0.05% of scan range ± <2% ± .0.5µm |
Slit scan | |
| Profiles | X-Y only,±<1µm (beam dependent) |
X-Y-Z , ±<1µm (beam dependent) |
X-Y-Z gives focus position |
| Angular alignment | - | ±1mrad with BeamMap2 ColliMate | |
| M² measurement | - | 1 to >20, ± 5% | 4 Z-plane hyperbolic fit |
| Real-time update | 5 Hz | Brushless DC motor | |
| Maximum Power & Irradiance | 1 W Total & 0.5 mW/µm² | Metallic film on Sapphire slits | |
| Gain Range | 1600:1 Switched + 4096:1 ADC range | Full bandwidth 12bit ADC | |
| Display graphics: | All: X-Y position; Profiles, Zoom x1 to x16. BeamMap only: M2, Focus; Divergence, Boresight/Pointing | ||
| Measurement Analysis: Averaging: Statistics: |
On-screen, for values & graphics, in selectable Pass / Fail colors User selectable running average (1 to ∞ samples) Min., Max., Mean, Standard Deviation. Log data over extended periods. |
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| Waist diameter measurement | Second moment (4σ) diameter to ISO 11146; Fitted Gaussian & TopHat; 1/e2 (13.5%) width; User selectable % of peak; Knife-Edge mode for very small beams | ||
どの波長が測定できますか？
190～1000nm (Si ディテクター) 、650nm～1800nm (InGaAs ディテクター)、1000ｎm～2.4µm (InGaAs ディテクター)です。
測定原理を教えてください？
レーザスポットに回転スキャンをかけて、X－Yプロファイルを測定します。
なぜM² が測定できるのですか？
奥行き方向に距離の違う4枚のスリット付きディスクを装備しているからです。
最大入力パワーはいくつですか？
検出器、波長、ビーム径により異なります。ユーザーマニュアルの66ページを確認ください。
http://www.dataray.com/pdf/DRMan.pdf
パルス光源は測定することができますか？
100kHz以上であれば測定できます。
最小測定ビーム径はどれくらいですか？
0.5umです。(BMS2-3XY50KEという機種をご選定ください。)
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