高精度 XYZ ステージ

駆動系に高剛性ガイドとリニア駆動シャフトモータ、測長にレーザスケールを採用する事により
分解能 0.05µm を実現しました。
コントローラとドライバを組合せる事により、CAD Cam ソフトによる CAD 図面をそのまま加工でき、
面倒なソフトウェアの作成が不要、複雑な加工も簡単にできます。
また、ドライバにより、ステージとガルバノスキャナとの組合せによる同期動作による、
高速微細加工と広い加工エリアの両立を実現しました。