高精度XYZステージ

オプトサイエンス製 XYZ ステージは、駆動系に高剛性ガイドと
リニア駆動シャフトモータ、測長にレーザスケールを採用する事により、
分解能 0.05µm という高精度を実現しました。

この高精度ステージに、コントローラとドライバを組み合わせる事により、
CAD Cam ソフトによる CAD 図面をそのまま加工できるので、
面倒なソフトウェアの作成が不要となり、複雑な加工も簡単に行う事ができます。

また、ドライバにより、ステージとガルバノスキャナとの組合せによる同期動作による、
高速微細加工と広い加工エリアの両立を実現しました。