NORTHROP GRUMMAN CEO社製 DPSSレーザ
CW-LD励起Q-SW Nd:YAGレーザ　Patara

• 発振波長：532nm
• 発振出力：100W
• 繰返し周波数：4～30kHz
• パルス幅：<150ns
• M2 (ビーム品質)：<20

NORTHROP GRUMMAN CEO社製 DPSSレーザ
QCW-LD励起Q-SW Nd:YAGレーザ　Gigashot

• 発振波長：355nm
• 発振出力：100mJ/pulse
• 繰返し周波数：110Hz
• パルス幅：<9ns
• M2 (ビーム品質)：<2.0 (参考値)

加工ヘッド (オプトサイエンス社製)

• 最大入射ビーム径：φ20mm
• 使用レンズ：Sill Optics社製
• 対応波長：λ=1064nm　f=30mm, 40mm, 100mm
  　　　　　λ=532nm　f=30mm, 40mm, 100mm
  　　　　　λ=355nm　f=48.2mm, 60mm, 114.4mm

２Dガルバノスキャナ (RAYLASE社製)

• 最大入射ビーム径：7～30mm
• 最大移動速度：4～15mm/s
• 最小分解能：12µrad (SUPERSCANⅢ<3µrad)
• 繰返し精度：<20µrad (SUPERSCANⅢ<1µrad)

XYZステージ (オプトサイエンス社製)

• コントローラ/ドライバ：AEROTECH社製
• 駆動方式：リニア駆動 (シャフトモータ使用)
• スケール：GSI社製 LDスケール
• X軸 (移動距離/分解能 最大スピード)：500mm/0.05µm 300mm/s
• Y軸 (移動距離/分解能 最大スピード)：250mm/0.05µm 300mm/s
• Z軸 (移動距離/分解能 最大スピード)：40mm/0.1µm 5mm/s

ファイバレーザ　NUQA (NUFERN社製)

• 発振波長：1064nm
• 発振出力：20W、30W、50W
• 繰返し周波数：20～100kHz (20W)、30～100kHz (30W)
  　　　　　　　50～200kHz (50W)
• パルス幅：<100±20ns (20W, 30W)、120±20ns (50W) M2 (ビーム品質)：<1.5

3Dガルバノスキャナ　AXIALSCAN (RAYLASE社製)

• 最大入射ビーム径：～50mm
• スキャンエリア：XY;～1500mm×150mm、X;～1452mm
• 最大移動速度：4～10mm/s
• 最小分解能 ：4～48µrad
• 繰返し精度 ：<20µrad

CO2レーザ (UNIVERSAL LASER SYSTEMS社製)

• 発振波長：10.6µm or 9.3µm
• 発振出力：10～500W (9.3µm発振器は30, 50Wのみ)
  250W, 500Wは 2015年発売開始予定
• M2 (ビーム品質)：<1.3 ±0.2

2Dガルバノスキャナ　SUPERSCANⅡ
(RAYLASE社製)

• 最大入射ビーム径：7～30mm
• 最大移動速度：4～15mm/s
• 最小分解能：12µrad (SUPERSCANⅢ<3µrad)
• 繰返し精度：<20µrad (SUPERSCANⅢ<1µrad)

• DPSSレーザ
  • NORTHROP GRUMMAN CEO
• CO2レーザ
  • UNIVERSAL LASER SYSTEMS
• ファイバレーザ
  • NUFERN
• 産業用エキシマレーザ
  • ATL Lasertechnik GmbH

• ミラー・コーティング
  • asphericon
  • Lambda Reserch
  • QIOPTIQ
  • ROCKY MOUNTAIN INSTRUMENT
• ビームエクスパンダ
  • Sill Optics
• ファラデーアイソレータ・ローテータ：
  • QIOPTIQ

• スキャナ
  • RAYLASE
  • Newton Research Labs（水中スキャナ）
• f-θレンズ
  • Sill Optics
• 集光レンズ
  • asphericon
  • QIOPTIQ
  • Sill Optics
• 加工ヘッド
  • オプトサイエンス開発製品（各集光レンズに合わせて設計します）

• XYZステージ
  • AEROTECH
  • オプトサイエンス開発製品