深層過渡分光法（DLTS）
DLTS は、半導体の欠陥の濃度とキャリア結合エネルギーの両方を調査するための強力で一般的に使用される技術です。
この手法では、本質的に、異なる温度での静電容量の過渡現象を測定します。
半導体接合部は、最初にモバイルキャリアの大部分を空にするために逆バイアスがかけられ、その後、正電圧パルスによって逆バイアス電圧が短時間ゼロに設定されると、
空のトラップが満たされます。
パルスの後、接合部に再び逆バイアスがかかり、電荷が徐々に放出されて静電容量が変化します。
結果として生じる静電容量の過渡現象は、MFIA で高い時間分解能で測定し、完全な過渡現象を捕捉するために長期間にわたって測定できます。
測定戦略
-
Zurich Instruments MFIA は、1 MHz～5 MHz（1 MHz だけでなく）の周波数で、10 us（1 MHz）の時間スケールで過渡容量を測定できます。
Zurich Instruments の制御ソフトウェアである LabOne のデータ収集モジュールは、外部パルスジェネレータまたは内部で生成されたバイアスパルスによってトリガできます。
この DAQ モジュールを使用すると、データバッファのおかげで、トリガイベント前の定常状態を含め、高い時間分解能と長時間のウィンドウでトランジェント全体を確実にキャプチャできます。 - さらに、MFIA に含まれるデュアルチャネルロックインアンプを使用して、過渡容量と過渡電流をキャプチャできます。これは、静電容量測定よりも速い時間スケールで実行できますが、絶対静電容量の情報は含まれません。
Zurich Instrumentsで測定するメリット
- MFIA は、両方の測定戦略に対して同時に測定ソリューションを提供します。
-
MFIA は、デジタイザが統合され、静電容量測定範囲が広く、動作周波数が柔軟であるため、製造中止になった Boonton 7200 の優れた代替品と見なすことができます。
さらに、実験を監視および最適化するプロッタやスイーパなどの多数のソフトウェアツールを提供します。 - MFIA には８段の電流入力段があるため、逆バイアスパルスが印加されても機器に過負荷がかかりません。
- MFIA インターフェースソフトウェアである LabOne には、復調された電流や電圧などの高速信号を1つのスコープウィンドウで同時にキャプチャするスコープが含まれています。
- MFIA に含まれる強力な API により、MFIA を複雑なラボ設定に統合し、アナログ IN / OUT を介して温度を制御できます。