3軸測定モデル SP-TR
超高精度位置決めセンサーモジュール
3本に分けられたビームを測定対象に取り付けたプレーンミラーに照射することで測定対象の測長、ピッチング、ヨーイングの3軸を同時に測定することのできるモデルです。
特に精密ステージ上の高精度位置出し、姿勢制御の高精度センサーとして据え付けてご使用になれます。
仕様
| SP 5000 TR | |
|---|---|
| 測定レンジ | 5 m |
| 分解能 | 20 pm |
| レーザー波長 | 632.8 nm |
| 周波数安定性 (relative) | 2.0 x 10-8 |
| 測定変位速度 (max.) | 3 m / s |
| サイズ - センサーヘッド | 200 x 137 x 72 mm |
| 重量 - センサーヘッド | 1.9 kg |
技術資料
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