Z軸ステージ HT60-5/90-5/120-10
高精度垂直移動ステージは、光学部品や類似した構造エレメント用の、マイクロメートル以内での正確な垂直位置決めをおこないます。マイクロメーターネジは、可読性 10 µm、感度 1 µmです。決めた位置は、移動ステージの側面にマウントされているクランプネジを締めることで固定できます。垂直移動ステージは3つのサイズがあります。
- 小型構造
- 高精度ボールベアリング
- マイクロメーター 位置固定用ロック付き
- 移動距離各 ±5 mm、HT120-10は±10 mm
- 感度 1 µm
HT 60-5
仕様
| Part No. | Travel (mm) |
Load Capacity (N) |
Parallelism of motion upper to lower side (µm) |
Resolution (nm) |
Straightness of motion in Z-direction (µm) |
Weight (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| G402181000 | 10 | 50 | 30 | 10 | 5 | 1 |
| G402182000 | 10 | 50 | 30 | 10 | 5 | 1.5 |
| G402183000 | 20 | 70 | 30 | 10 | 5 | 3 |
製品一覧
| 型番 | 製品名 | 価格（税別） |
|---|---|---|
| G402181000 | Vertical translation stage HT 60-5 | ¥149,500 |
| G402182000 | Vertical translation stage HT 90-5 | ¥220,600 |
| G402183000 | Vertical translation stage HT 120-10 | ¥341,700 |
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技術資料
図面
HT 60-5
HT 90-5
HT 120-10
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