Z軸ステージ HT60-5/90-5/120-10

高精度垂直移動ステージは、光学部品や類似した構造エレメント用の、マイクロメートル以内での正確な垂直位置決めをおこないます。マイクロメーターネジは、可読性 10µm、感度 1µmです。決めた位置は、移動ステージの側面にマウントされているクランプネジを締めることで固定できます。垂直移動ステージは3つのサイズがあります。

  • 小型構造
  • 高精度ボールベアリング
  • マイクロメーター 位置固定用ロック付き
  • 移動距離各 ±5mm、HT120-10は ±10mm
  • 感度 1µm

仕様

Part No. Travel
(mm)
Load Capacity
(N)
Parallelism of motion upper
to lower side (µm)
Resolution
(nm)
Straightness of motion
in Z-direction (µm)
Weight
(kg)
G402181000 10 50 30 10 5 1
G402182000 10 50 30 10 5 1.5
G402183000 20 70 30 10 5 3

ラインアップ

型番 商品名 価格
G402181000 Vertical translation stage HT 60-5 ¥141,600
G402182000 Vertical translation stage HT 90-5 ¥209,200
G402183000 Vertical translation stage HT 120-10 ¥323,800
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技術資料

図面

HT 60-5 HT 60-5

HT 90-5 HT 90-5

HT 120-10 HT 120-10

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