フォトンエミッション顕微鏡システム IREM-IV
最も困難なIRフォトンエミッション故障解析（FA）に対応
IREM-IVは、最先端のIRフォトンエミッション故障解析（FA）を提供します。 IRLabs社は20年以上にわたり、世界の主要半導体メーカーと協力し、最も高感度なフォトンエミッションFAツールを開発してきました。
IREM-IVが あなたのFA解析を次のレベルへ引き上げます。
業界最高クラスの性能を支える 5つのポイント
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①超低ノイズMCTカメラ — 10nmデバイスのエミッションを鮮明にキャプチャー。
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②3.3NA SIL対物レンズ — 業界最小のコンタクトフォース。 独自技術の広視野レンズ。
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③表面プロファイルセンサー — 高さ10µm以下の分解能でデバイスの歪みを補正。
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④デュアル冷却フィルター — 熱雑音を排除し、純粋なエミッションデータを取得。
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⑤AIRISソフトウェア — 直感的な操作と強力な解析機能を提供。
サンプル画像
高分解能
10nmのデバッグ
高感度
400ｍVでのエミッションを感知
広視野
IRLabs社 独自の対物レンズ
重ね合わせ表示
デバイスの発熱部を分かりやすく
仕様
IREM-IVカメラ
- 1016x1016ピクセル LN2冷却MCTアレイ
- 18µmピクセルサイズ
- 440～2500 nmのスペクトル範囲
- 6ポジションモーター駆動レンズターレット
- 6ポジションデュアル冷却フィルター / 絞りホイール
- LN2ホールド時間 20時間以上
モーションシステム
- 分解能 25nm
- 移動範囲 100mm（X-Y-Z）
- 振動抑制構造
- モーター駆動サンプルチップチルトオプション
ソフトウェア AIRIS
IREMフォトンエミッション顕微鏡を直感的に操作可能なソフトウェア 「AIRIS」
- 画像上の任意のポイントをクリックしてナビゲート
- ポイントデータベースにより迅速な位置復帰
- 広視野 & 高解像度モザイク画像の作成
- AIRISスクリプトによる測定の自動化
- データ整理 & ノート管理が可能なプロジェクトウィンドウ
システム寸法
顕微鏡
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810 x 876 x 813 mm
- 重量 160kg
エレクトロニクス ラック
- 610 x 1283 x 762 mm
- 重量 90kg
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