“Annealing Tester” と “それ以外” とで大別されます。
“Annealing Tester”と“それ以外”の違い①
1つめの違いは、測定に使用する光学系が、集光系 で行われるか、それとも 並行光系 で行われるかになります。
“Annealing Tester”を使用すると、測定対象を測定ビームが“斜め”に貫けてきます。
広い観察領域を確保する反面、測定台の端を通る測定ビームは測定対象を斜めに透過しますので、
同じ測定対象であっても測定台の中央と端の部分との測定結果に若干のずれが発生します。
→ 素早く、大きな測定対象全体のひずみの有無やイメージ化に適します。
→ アナログ方式のポラリスコープ(目視検査)からのデジタル機への乗り換えに適します。
“それ以外”を使用すると、測定対象を測定ビームが“垂直”に貫けてきます。
光学系にテレセントリックレンズを使用しているので、より精度の高い測定が可能です。
→ 素早く、正確な測定対象の測定、全体のひずみのイメージ化に向きます。
→ 測定対象の製品管理などの用途に向きます。
違い②
“Annealing Tester”を使用すると、測定対象によっては写真(左)のように斜め方向に“可視化できない”領域が現れる場合があります。
測定レンジが ±280nm(引張 / 圧縮を区別できます。)となる一方、測定する際の測定対象の向きに注意が必要です。
また、測定対象を測定台に通す際に、値が最大になる向きにして通す必要があります。
→ 引張応力/圧縮応力の大別に使用できます。
→ ±280nmまでの測定レンジとなります。
“それ以外”を使用すると、写真(右)のようにどの向きも“可視化する”ことができます。
特別注意する事項はありません。
→ 測定対象の向きは、測定結果に影響しません。
→ 100nmまでの測定レンジとなります。