『SiCウエハ』『GaNウエハ』などの『先進パワー半導体ウエハ』の量産化 ・ 低コスト化をサポート
SiC基板、GaN基板の『残留応力測定』
高品質光学ガラス、光学部品の残留応力を迅速、かつ簡単に測定

リアルタイムポラリメーター StrainScopeは、光学特性を利用して、透明体サンプルの歪(ひずみ)の有無 ・ 分布状態の観察、応力方向の解析、歪の定量測定をリアルタイムで行える計測システムです。

各製品の計測画像 ・ 動画 ・ データシート : 製品一覧

製品一覧

StrainScope Stepper

StrainScope Stepper

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StrainScope Stepper for SiC wafers

StrainScope Optics Tester

StrainScope Optics Tester

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StrainScope Optics Tester (English)

StrainScope Cord Tester

StrainScope Cord Tester

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StrainScope Cord Tester (English)

StrainScope Pharma Tester

StrainScope Pharma Tester

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StrainScope Pharma Tester (English)


測定方法 『かんたん 3ステップ』

誰でも安定した測定ができる! 8インチのSiCウエハ1枚あたり、最短約20秒で自動測定!

測定結果の例 (ボタンa, b, c)

【STEP1】
キャリブレーションボタンをクリック

【STEP1】 測定台イメージ

【STEP1】 ボタンにズーム(a)

(a)キャリブレーションボタン

【STEP2】
サンプルをセットして測定ボタンをクリック

【STEP2】 測定台イメージ

【STEP2】 ボタンにズーム(b)

(b)測定ボタン

【STEP3】
測定結果を保存

【STEP3】 測定結果画面イメージ

【STEP3】 ボタンにズーム(c)

(c)保存ボタン

【測定結果画面の見方】

全体のリタデーションが一目でわかる!|軸方位を表示!|応力分布が一目瞭然!|測定結果を分布で表示!


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