クリーンルーム エアベアリングパッド
EZ-0300

EZ-0300ベアリングパッドは、粒子抽出システムを内蔵しています。微多孔質硬質石板の気孔で舞い上がる粉塵のような非常に小さな粒子を、運転中の走行面から直接吸い取ることができます。

圧縮空気の必要量が少ないため、EZ-0300クリーンルームベアリングは真空チャンバーでの使用にも適しています。運転には圧縮空気と真空の連続供給が必要です。特殊な緊急走行層により、ベアリングエレメントは頑丈で耐久性があります。

接続は球面キャップ接続で行われ、適合するプレッシャースクリューにより、簡単な取り付けと正確な調整が可能です。

標準サイズは外径100~450mmです。ご要望に応じて、サイズや設計の異なる他のサクション一体型軸受もご提供できます。具体的な内容については、お気軽にお問合せください。

製品ラインアップ

100 mm径 ~ 450 mm径

型番、直径、耐荷重 等を入力すると該当するデータを検索できます。
※全てを表示する時は入力した検索条件を消去してください。

型番 直径
(mm)
耐荷重※1
(N)
静的剛性※1
(N/µm)
エア消費
(Sl/min)
識別番号 圧力ネジ PDF STEP
EZ-0300-100 100 1,100 105 5.8 0019819 EZ-0249 M24x1,5 R14
EZ-0300-120 120 1,800 170 6.7 0019802 EZ-0249 M24x1,5-R14
EZ-0300-150 150 3,000 275 6.9 0019607 EZ-0249 M36x1,5-R22
EZ-0300-170 170 3,950 360 7.0 0019622 EZ-0249 M36x1,5-R22
EZ-0300-210 210 7,000 590 9.9 0019565 EZ-0249 M48x1,5-R30
EZ-0300-260 260 10,500 900 10.0 0019593 EZ-0249 M48x1,5-R30
EZ-0300-310 310 16,000 1,250 12.1 0019652 EZ-0249 M72x2,0-R50
EZ-0300-360 360 22,000 1,700 12.3 0019681 EZ-0249 M72x2,0-R50
EZ-0300-420 420 30,000 2,300 15.0 0019780 EZ-0249 M72x2,0-R50
EZ-0300-450 450 34,500 2,550 14.9 0019776 EZ-0249 M72x2,0-R50
  • ※1
    供給圧力 5barの場合
  • ※2
    公称負荷の場合

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