Beam'R2
XY走査スリット型
ビームプロファイラー
Beam'R2 回転スキャンタイプのビームプロファイラーです。
ディテクターは以下の2つのいずれかから選ぶことが可能です。
- Si（190～1150nm）
- InGaAs（650～1800nm）
本ビームプロファイラーのユニークな特長として、Si とInGaAs 両方のディテクターを搭載し、1台で幅広い波長帯に対応することも可能です。
特長
-
幅広い波長に対応
・ 190～1150 nm、Siliconディテクター
・ 650～1800 nm、InGaAsディテクター - ビーム径 5µm～4mmまでのレーザーに対応（Siディテクター、Knife Edgeモード 1µm設定時）
- 0.1µmの測定分解能
- Linear & log X-Y profiles, centroid
- プロファイルズーム&スリット幅補正機能あり
- CW; パルスレーザー、Φµm ≥ [500/(PRR in kHz)]
- USB 2.0、バスパワー駆動
- M² 測定オプションあり（ビーム伝播、広がり角、フォーカスの解析に）
アプリケーション
- レーザープリンティングおよびマーキング用のレーザーの測定
- 医療用レーザーの測定
- 半導体レーザーシステムの測定
- 通信用ファイバーオプティクの組立焦点合わせ（要LensPlate2™オプション）
- レーザーの開発、およびレーザーシステムの点検、修理
- M²の測定（要M2DUステージ）
仕様
| Wavelength |
Si detector: 190 to 1150 nm |
|---|---|
| Scanned Beam Diameters |
Si detector: 5 µm to 4 mm‚ to 1 µm in Knife-Edge mode |
| Beam Waist Diameter Measurement |
Second moment (4s) diameter to ISO 11146 |
| Measured Sources |
CW; Pulsed lasers‚ Φ µm ≥ [500/(PRR in kHz)] |
| Resolution Accuracy |
0.1 µm or 0.05% of scan range ± < 2% ± = 0.5 µm |
| Maximum Power & Irradiance |
1 W Total & 0.5 mW/µm² |
| Gain Range |
1‚000:1 Switched 4‚096:1 ADC range |
| Displayed Graphics |
X-Y Position & Profiles‚ Zoom x1 to x16 |
| Update Rate |
～5 Hz |
| Pass/Fail Display |
On-screen selectable Pass/Fail colors. Ideal for QA & Production. |
| Averaging |
User selectable running average (1 to 8 samples) |
| Statistics |
Min.‚ Max.‚ Mean‚ Standard Deviation |
| XY Profile & Centroid |
Beam Wander display and logging |
| Minimum PC Requirements |
Windows, 2 GB RAM, USB 2.0/3.0 port |
技術資料
図面
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