センサー
より高精度なモーションコントロールのために、閉ループ制御に使用されるセンサーをご用意しています。 以下の 2種類のセンサーがあります。
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①ひずみゲージセンサー ［SG］ ：
ひずみゲージセンサー ［SG］ は、ピエゾ素子の変形を測定する接触センサーです。 -
②渦電流センサー ［ECS］ ：
渦電流センサー ［ECS］ は、距離を測定する非接触センサーです。 一部のピエゾ機構（TT、DTT、XY）の標準オプションで、一部のピエゾおよび磁気アクチュエーターで使用できます。
① ひずみゲージセンサー ［SG］
② 渦電流センサー ［ECS］
ECS75
19インチラックに搭載されるボード。 最大 3チャネルまで対応可能。
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