ピエゾステージ
1軸～3軸までのピエゾステージをお取り扱いしています。
コンパクト、堅牢性、帯域幅、解像度、非常に細かい位置決めや閉ループ制御のためのひずみゲージを装備できます。
- Xピエゾステージ ： 1軸ピエゾステージは、優れたコンパクト性、強固性、帯域幅、分解能が特長です。
- XYピエゾステージ： 2軸ステージは、細かい位置決めや、クローズドループ制御用のひずみゲージを 装備可能です。
- XYZピエゾステージ ： 2軸ステージ上にZ軸を装備します。
製品一覧
X60S
最大 110µm のストロークの 1軸ステージで、最大 10nm の精度を実現するひずみゲージを装備することができます。
- 最大無負荷変位 ： 55 µm
- 無負荷共振周波数 ： 1,840 Hz
- 応答速度 ： 0.27 ms
- サイズ ： 30 x 30 x 12 mm
X120S
最大 110µm のストロークのい軸ステージで、最大 10nm 精度を実現できます。
- 最大無負荷変位 ： 110 µm
- 無負荷共振周波数 ： 850 Hz
- 応答速度 ： 0.59 ms
- サイズ ： 30 x 30 x 12 mm
XY25XS
コンパクトな形状で、ファイバー位置決めやマイクロスキャン用の統合デバイスに最適です。
- 最大無負荷変位 ： 25 µm
- 無負荷共振周波数 ： 3,000 Hz
- 応答速度 ： 0.17 ms
- サイズ ： 50 x 50 x 19 mm
XY200M
高い剛性を備えたステージで、マスクの位置決め、原子間力顕微鏡、または走査型トンネル顕微鏡などに最適です。
- 最大無負荷変位 ： 200 µm
- 無負荷共振周波数 ： 580 Hz
- 応答速度 ： 0.86 ms
- サイズ ： 100 x 100 x 22 mm
XYZ200M
増幅機構付きピエゾアクチュエーター APA200Mをベースに高い剛性を備えたピエゾステージです。 共焦点顕微鏡、マスクポジショニング、検査関連などの用途があります。
- 最大無負荷変位 ： 200 µm
- 無負荷共振周波数 ： 380 Hz
- 応答速度 ： 1.32 ms
- サイズ ： 100 x 100 x 49 mm
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