ステアリングミラー
高速ステアリングミラー（FSM）には、ステアリングプラットフォーム（チルト / チップチルト）、ミラー、位置センサー、およびコントローラーが含まれます。
プラットフォームは、ピエゾアクチュエータ または、磁気アクチュエーター を使用したメカニズムとなっており、それぞれのコントローラーで制御することができます。
高速ステアリングミラー
P-FSM150S
φ15mmクリアアパーチャーを持つピエゾベースの高速ステアリングミラー。 ひずみゲージ位置決めセンサーを搭載しており、正確な位置制御を実現します。
- 最大傾斜角 ： 18 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 700 Hz
- サイズ ： 61 x 63 x 30 mm
M-FSM45
φ15mmクリアアパーチャーを持つ磁気ベースの高速ステアリングミラー。 渦電流位置決めセンサー（ECS）を搭載することができ、正確な位置制御が可能です。
- 最大傾斜角 ： 50 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 100 Hz
- サイズ ： ⌀45 x 40 mm
M-FSM62
φ30mmクリアアパーチャーを持つ磁気ベースの高速ステアリングミラー。 渦電流位置決めセンサー（ECS）を装備することができ、正確な位置制御が可能です。
- 最大傾斜角 ： 140 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 100 Hz
- サイズ ： ⌀62 x 60 mm
ミラーカスタマイズ対応 プラットフォーム
TT60SM-SG
平行移動とチルトの動きを生成できるピエゾベースのプラットフォームです。 標準解像度ではチルト モーションのみが利用可能です。
- 最大傾斜角 ： 20 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 2180 Hz
- サイズ ： ⌀55 x 25 mm
DTT15XS-SG
2つの直交軸に沿ったミラー回転可能なピエゾベースの高速ステアリングプラットフォームです。 ⌀40 mmまでのガラスミラーに対応。 ひずみゲージ位置決めセンサー装備で、正確な位置決め制御を実現します。
- 最大傾斜角 ： 2 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 3000 Hz
- サイズ ： 40 x 40 x 24 mm
DTT35XS-SG
2つの直交軸に沿ったミラー回転可能なピエゾベースの高速ステアリングプラットフォームです。 ⌀30 mmまでのガラスミラーに対応。 ひずみゲージ位置決めセンサー装備で、正確な位置制御を実現しています。
- 最大傾斜角 ： 5 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 2600 Hz
- サイズ ： ⌀45 x 22 mm
DTT60SM-SG
軸 X（チップ）および Y（チルト）周りに 2つの回転を生成します。 ひずみゲージ（SG）位置決めセンサーが組み込まれており、高分解能と正確な位置制御を実現します。 光学偏向角は、直径 2 インチまでのミラーで最大 1.2° に達することも可能です。
- 最大傾斜角 ： 10 mrad
- 無負荷共振周波数 ： 1750 Hz
- サイズ ： ⌀65 x 40 mm
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