マイクロリソグラフィやレーシック(LASIK)を用途とするエキシマレーザー用の光学部材として、ARO社が最も得意とするコンポーネンツです。

製品一覧

UV エキシマ波長用ミラーの製品一覧表です。 2行目のフィールドに頭の文字を入力すると絞込ができます(例 : 「1」と入力すると、1から始まるデータの行のみが表示されます)。 また、型番をクリックするとPDFが表示されます(一部例外あり)。

Wavelength (nm) Diameter (mm) Thickness (mm) Angle of Incidence Reflectivity* (%) 型番
193 25.4 9.525 97
193 25.4 9.525 45° 95
193 50.8 9.525 97
193 50.8 9.525 45° 95
248 25.4 9.525 99
248 25.4 9.525 45° 98.5
248 50.8 9.525 99
248 50.8 9.525 45° 98.5
308 25.4 9.525 99.5
308 25.4 9.525 45° 99.5
308 50.8 9.525 99.5
308 50.8 9.525 45° 99.5
351 25.4 9.525 99.5
351 25.4 9.525 45° 99.5 MR3040
351 50.8 9.525 99.5
351 50.8 9.525 45° 99.5 MR3080

* Unpolarized light

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