VUV NDフィルターは、金属薄膜の上に誘電体保護膜をコーティングした構造を採用しています。

120~200 nmの波長域では、金属薄膜の透過、反射、および吸収特性の組み合わせによって光学濃度(ND値)が決まります。 また、200~320 nmのUV波長域向けNDフィルターもご用意しています。

特長

  • ND5およびND6は特注品として提供しています。
    (これらは160.8 nmや253.7 nmなどの代表的なスペクトル線において校正されます。)
  • VUVにはUVグレードMgF₂(フッ化マグネシウム)基板、UVにはUVグレード溶融石英基板を使用しています。

ラインアップ

波長:120~200 nm

OD 最小透過率(%) 透過範囲(%) 0.5” 型番 1.0” 型番 2.0” 型番
0.3 50 42 ~ 58 FND0.3-.5D-V FND0.3-1D-V FND0.3-2D-V
0.5 30 25 ~ 35 FND0.5-.5D-V FND0.5-1D-V FND0.5-2D-V
1 10 8 ~ 12 FND1-.5D-V FND1-1D-V FND1-2D-V
1.5 3.00 2.5 ~ 3.5 FND1.5-.5D-V FND1.5-1D-V FND1.5-2D-V
2 1.00 0.7 ~ 1.4 FND2-.5D-V FND2-1D-V FND2-2D-V
3 0.10 0.06 ~ 0.17 FND3-.5D-V FND3-1D-V FND3-2D-V
4 0.01 0.005 ~ 0.02 FND4-.5D-V FND4-1D-V FND4-2D-V
5 0.00 0.0007 ~ 0.0015 FND5-.5D-V FND5-1D-V FND5-2D-V
6 0.00 0.00007 ~ 0.00014 FND6-.5D-V FND6-1D-V FND6-2D-V

波長:200~320 nm

OD 最小透過率(%) 透過範囲(%) 0.5” 型番 1.0” 型番 2.0” 型番
0.3 50 42 ~ 58 FND0.3-.5D-M FND0.3-1D-M FND0.3-2D-M
0.5 30 25 ~ 35 FND0.5-.5D-M FND0.5-1D-M FND0.5-2D-M
1 10 8 ~ 12 FND1-.5D-M FND1-1D-M FND1-2D-M
1.5 3.00 2.5 ~ 3.5 FND1.5-.5D-M FND1.5-1D-M FND1.5-2D-M
2 1.00 0.7 ~ 1.4 FND2-.5D-M FND2-1D-M FND2-2D-M
3 0.10 0.06 ~ 0.17 FND3-.5D-M FND3-1D-M FND3-2D-M
4 0.01 0.005 ~ 0.02 FND4-.5D-M FND4-1D-M FND4-2D-M
5 0.00 0.0007 ~ 0.0015 FND5-.5D-M FND5-1D-M FND5-2D-M
6 0.00 0.00007 ~ 0.00014 FND6-.5D-M FND6-1D-M FND6-2D-M

コーティングカーブ


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