VUV / UV 狭帯域バンドパスフィルター
Teledyne Acton Optics & Coatings社の狭帯域バンドパスフィルターは、高品質な光学材料を使用して製造されており、研究用途から産業用途まで幅広い分野で利用されています。
各フィルターは出荷前に外観検査および光学検査が実施され、個々のフィルターの性能特性を示す透過率曲線が添付されます。 製造時には、詳細な遮断特性曲線をオプションで提供することも可能です。 このほか、標準品以外の中心波長やサイズ、イメージング用途向けの高性能フィルターにも対応しています。
ラインアップ
| 波長（nm） | 半値幅（nm） | 最小透過率（％） | 0.5” 型番 | 1.0” 型番 | 2.0” 型番 |
|---|---|---|---|---|---|
| 122 +/- 2.5 | 10 max. | 15 | FN122-XN-.5D | FN122-XN-1D | FN122-XN-2D |
| 122 +/- 2.5 | 15 max. | 15 | FN122-VN-.5D | FN122-VN-1D | FN122-VN-2D |
| 122 +/- 2.5 | 20 max. | 15 | FN122-N-.5D | FN122-N-1D | FN122-N-2D |
| 126 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN126-N-.5D | FN126-N-1D | FN126-N-2D |
| 130 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN130-N-.5D | FN130-N-1D | FN130-N-2D |
| 135 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | FN135-N-.5D | FN135-N-1D | FN135-N-2D |
| 140 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN140-N-.5D | FN140-N-1D | FN140-N-2D |
| 147 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | FN147-N-.5D | FN147-N-1D | FN147-N-2D |
| 150 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN150-N-.5D | FN150-N-1D | FN150-N-2D |
| 155 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 12 | FN155-N-.5D | FN155-N-1D | FN155-N-2D |
| 157 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 12 | FN157-N-.5D | FN157-N-1D | FN157-N-2D |
| 160 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 12 | FN160-N-.5D | FN160-N-1D | FN160-N-2D |
| 172 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | FN172-N-.5D | FN172-N-1D | FN172-N-2D |
| 180 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | FN180-N-.5D | FN180-N-1D | FN180-N-2D |
| 185 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 15 | FN185-N-.5D | FN185-N-1D | FN185-N-2D |
| 185 +/- 2.5 | 20 +/- 7.5 | 10 | FN185-HR-.5D | FN185-HR-1D | FN185-HR-2D |
| 190 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN190-N-.5D | FN190-N-1D | FN190-N-2D |
| 193 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN193-N-.5D | FN193-N-1D | FN193-N-2D |
| 200 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN200-N-.5D | FN200-N-1D | FN200-N-2D |
| 205 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN205-N-1D | FN205-N-1D | FN205N-2D |
| 210 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN210-N-.5D | FN210-N-1D | FN210-N-2D |
| 214 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN214-N-.5D | FN214-N-1D | FN214-N-2D |
| 220 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN220-N-.5D | FN220-N-1D | FN220-N-2D |
| 222 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN222-N-.5D | FN222-N-1D | FN222-N-2D |
| 230 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN230-N-.5D | FN230-N-1D | FN230-N-2D |
| 240 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN240-N-.5D | FN240-N-1D | FN240-N-2D |
| 250 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN250-N-.5D | FN250-N-1D | FN250-N-2D |
| 254 +/- 2.5 | 20 +/- 5 | 15 | FN254-N-.5D | FN254-N-1D | FN254-N-2D |
- 320 nmまでのすべての波長に対応したフィルターをご用意しています。
- 半値幅、ピーク透過率、およびピーク波長の仕様は、上記に記載した各ピーク波長範囲内の規格値に適合しています。
サイズ
| フィルター外径 （マウントなし） |
フィルター外径 （マウント付き） |
フィルター厚さ （マウントなし） |
フィルター厚さ （マウント付き） |
有効開口径 |
|---|---|---|---|---|
| 0.5” (12.7mm) +0.00”/-0.005” |
0.625” (15.88mm) ±0.005” |
0.079" (2mm) | 0.300” (7.62mm) | 0.450” (11.43mm) |
| 1.0” (25.4mm) +0.00”/-0.005” |
1.200” (30.48mm) ±0.005” |
0.098" (2.5mm) | 0.375” (9.53mm) | 0.800” (20.32mm) |
| 2.0” (50.8mm) +0.00”/-0.005” |
2.225” (56.52mm) ±0.005” |
0.197" (4mm) | 0.500” (12.7mm) | 1.900” (48.26mm) |
材料
| 波長 | <140 nm | 140～169 nm | 170～320 nm |
|---|---|---|---|
| 基板材料 | VUV MgF2 | VUV CaF2 | UV Grade Fused Silica |
サイズ
| フィルター外径 （マウントなし） |
フィルター外径 （マウント付き） |
フィルター厚さ （マウントなし） |
フィルター厚さ （マウント付き） |
有効開口径 |
|---|---|---|---|---|
| 0.5” (12.7mm) +0.00”/-0.005” |
0.625” (15.88mm) ±0.005” |
0.079" (2mm) | 0.300” (7.62mm) | 0.450” (11.43mm) |
| 1.0” (25.4mm) +0.00”/-0.005” |
1.200” (30.48mm) ±0.005” |
0.098" (2.5mm) | 0.375” (9.53mm) | 0.800” (20.32mm) |
| 2.0” (50.8mm) +0.00”/-0.005” |
2.225” (56.52mm) ±0.005” |
0.197" (4mm) | 0.500” (12.7mm) | 1.900” (48.26mm) |
材料
| 波長 | <140 nm | 140～169 nm | 170～320 nm |
|---|---|---|---|
| 基板材料 | VUV MgF2 | VUV CaF2 | UV Grade Fused Silica |
標準バンドパスフィルターの構造
オープンフェイス型は、基板の片面に光学フィルターコーティングを施した構造です。
フィルターコーティングが露出しているため、取り扱いには十分な注意が必要です。
湿気や大気中の汚染物質、取り扱い時の接触による損傷を軽減するため、保護用の溶融石英カバーでフィルターを封止することができます（下図参照）。
この保護カバーは、190 nm以上の波長に対応したフィルターで利用可能です。
オープンフェイス型
190 nm以上のフィルターには、保護用の溶融石英カバーを取り付けた仕様を選択できます。
図のように、2枚の基板の間にスペーサーリングを配置して小さな空気層を形成し、周囲をシールする構造で、この設計により、繊細なフィルターコーティングに直接触れることなく、安全に取り扱うことができます。
なお、カバーを追加すると、透過率は約2～3%低下します。
エッジシール加工を施した場合、フィルター外径は約0.010インチ（0.254 mm）大きくなり、厚みはオープンフェイス型のおよそ2倍です。
カバー付き・エッジシール型
オープンフェイス型およびカバー付き（エッジシールなし）のフィルターは、ご要望に応じて金属製マウントリング付きで提供可能です。
マウントリングはアルミニウム製で、黒色アルマイト処理が施されています。
マウントを取り付けることで、有効開口径は小さくなり、外径は下表のとおり大きくなります。
- 特に指定がない場合、フィルターはオープンフェイス型で提供されます。
- 直径2.0インチの122～157 nmフィルターは、厚さ5 mm仕様です。
マウント付き
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