VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik

NOVION
オールインワン 真空計、RGA、Heリークテスタ

PRESSURE LEAK RGA


全ての機能を1台に 全ての機能を1台に

イオントラップ、TOF、熱電対形式を用いた各種計測

ベーキング温度：摂氏 80℃（コントロールユニット付きの場合）
　　　　　　　　摂氏 200℃（コントロールユニット取外し時）

  • ATM から UHV の広範囲な真空度計測
  • RGA や He リークテストと同時使用可能

Pressure Measurement

Short description

Convenient pressure measurement range reaches from 1000 mbar down to UHV.

Switching between Pirani and ionization mode is performed automatically at
1･10-3 mbar and vice versa at 5･10-3 mbar.

Pressure monitoring is carried out simultaneously to the optional residual gas
analysis or helium leakage detection.
Measurement range (pressure) 1・10-9 to 1・105 Pa
1・10-11 to 1,000 mbar
7.5・10-12 to 750 Torr
Accuracy (pressure) ± 25 % (1・10-3 to 1・10+1 mbar)
± 15 % (1・10-7 to 1・10-5 mbar)
Reproducibllity (pressure) ± 10 % of reading (1・10-8 to 1・10-2 mbar)
Sampling rate Adjustable
  • 追加部品無しでのヘリウムリーク検査

Helium Leak Detection

Short description

Easy and sensitive Helium leakage detection is available without additional instrumentation.

A high dynamic range is provided, even at high pressures up to 5・10-3 mbar.
Minimum detectable partial
pressure of Helium
(precentage of the total pressure p)		 ■　< 0.05 % (p = 1・10-3 to 1・10-6 mbar)
■　< 0.5 % (p = 1・10-7 mbar)
■　< 1 % (p = 1・10-8 mbar)
■　< 10 % (p = 1・10-10 mbar)
Minimum detectable Helium
leakage rate for SHe = 10l/s 		■　< 5・10-6 to 5・10-9 mbar/l*s (p = 1・10-3 to 1・10-6 mbar)
■　< 5・10-9 mbar/l*s (p = 1・10-7 mbar)
■　< 1・10-9 mbar/l*s (p = 1・10-8 mbar)
■　< 1・10-10 mbar/l*s (p = 1・10-10 mbar)
  • 最大で 5・10-3 mbar でのガス分析
  • 各組成の検知：H2, H2O, N2, O2, CO2 etc.
  • マススペクトラムを 250 msec で実行
  • 水素とヘリウムを分離計測
  • 重炭化水素検知

Residual Gas Analysis

Short description

A rough residual gas analysis from 1 to 300 amu can be carried out.

Spectral information is available up to a total pressure of 5・10-3 mbar.

The resolution is optimized for three typical use cases:

■　Measurement of Hydrogen and Helium with a very hign resolution (1 to 5 amu).
■　Typical atmospheric gas component and water can be separated (10 to 300 amu).
■　Measurement of the overall contamination by heavy carbon hydrogens (50 to 300 amu).
Mass range 1 to 300 amu
Mass-resolution R
(note that a small r is better)

 

 ■　< 1 (for 1 to 5 amu)
■　< 10 (for 10 to 50 amu)
■　< 20 (for 51 to 100 amu)
■　< 50 (for 101 to 300 amu)
Minimum detectable partial
pressure up to 40 amu
(precentage of the total pressure p)		 About 0.1 % (depending on total pressure)
Minimum detectable partial
pressure of heavy hydrocarbons
(precentage of the total pressure p)		 About 0.1 % (depending on total pressure)

 

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