NOVION
オールインワン 真空計、RGA、Heリークテスタ
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全ての機能を1台に
イオントラップ、TOF、熱電対形式を用いた各種計測
ベーキング温度:摂氏 80℃(コントロールユニット付きの場合)
摂氏 200℃(コントロールユニット取外し時)
- ATM から UHV の広範囲な真空度計測
- RGA や He リークテストと同時使用可能
Pressure Measurement
Short description |
Convenient pressure measurement range reaches from 1000 mbar down to UHV. Switching between Pirani and ionization mode is performed automatically at analysis or helium leakage detection. |
Measurement range (pressure) | 1・10-9 to 1・105 Pa 1・10-11 to 1,000 mbar 7.5・10-12 to 750 Torr |
Accuracy (pressure) | ± 25 % (1・10-3 to 1・10+1 mbar) ± 15 % (1・10-7 to 1・10-5 mbar) |
Reproducibllity (pressure) | ± 10 % of reading (1・10-8 to 1・10-2 mbar) |
Sampling rate | Adjustable |
- 追加部品無しでのヘリウムリーク検査
Helium Leak Detection
Short description |
Easy and sensitive Helium leakage detection is available without additional instrumentation. A high dynamic range is provided, even at high pressures up to 5・10-3 mbar. |
Minimum detectable partial pressure of Helium (precentage of the total pressure p) |
■ < 0.05 % (p = 1・10-3 to 1・10-6 mbar) ■ < 0.5 % (p = 1・10-7 mbar) ■ < 1 % (p = 1・10-8 mbar) ■ < 10 % (p = 1・10-10 mbar) |
Minimum detectable Helium leakage rate for SHe = 10l/s |
■ < 5・10-6 to 5・10-9 mbar/l*s (p = 1・10-3 to 1・10-6 mbar) ■ < 5・10-9 mbar/l*s (p = 1・10-7 mbar) ■ < 1・10-9 mbar/l*s (p = 1・10-8 mbar) ■ < 1・10-10 mbar/l*s (p = 1・10-10 mbar) |
- 最大で 5・10-3 mbar でのガス分析
- 各組成の検知:H2, H2O, N2, O2, CO2 etc.
- マススペクトラムを 250 msec で実行
- 水素とヘリウムを分離計測
- 重炭化水素検知
Residual Gas Analysis
Short description |
A rough residual gas analysis from 1 to 300 amu can be carried out. Spectral information is available up to a total pressure of 5・10-3 mbar. The resolution is optimized for three typical use cases: ■ Measurement of Hydrogen and Helium with a very hign resolution (1 to 5 amu). |
Mass range | 1 to 300 amu |
Mass-resolution R (note that a small r is better)
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■ < 1 (for 1 to 5 amu) ■ < 10 (for 10 to 50 amu) ■ < 20 (for 51 to 100 amu) ■ < 50 (for 101 to 300 amu) |
Minimum detectable partial pressure up to 40 amu (precentage of the total pressure p) |
About 0.1 % (depending on total pressure) |
Minimum detectable partial pressure of heavy hydrocarbons (precentage of the total pressure p) |
About 0.1 % (depending on total pressure) |
データシート
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