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超高精度位置決めセンサモジュール

超高精度位置決めセンサモジュール拡大

シングルまたは、マルチビームによる測定で
超高精度測長を行います。

スライダ、ステージ類の位置を精度測長する
シングルビームモデルに加え、ピッチ、ヨーを
同時測定できるマルチビームモデルがあります。

高精度/高精密のステージ調整の搭載型高性能
センサとして広くご使用になれます。




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