SIOS Meßtechnik

NMM-1
ナノポジショニング / ナノ計測システム

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AFM など微細形状を測定するシステムは、
測定対象の構造全体をイメージする際に
限界に達します。

レーザ振動計、工業用顕微鏡、AFM と一緒に SIOS 社のナノ測定システム:NMM-1 を使用することで 25mm x 25mm x 5mm のレンジを 0.1nm の分解能でポジショニングが可能となります。


  • 最高精度を誇る、
    レーザ干渉 3D マルチセンサ
    位置決め計測システム
  • レーザフォーカスセンサ LFS シリーズ、AFM(原子力間力顕微鏡)、白色干渉計、
    3D マイクロプローブセンサと使用可能
  • ナノレベルの物体の位置決め、操作及び測定
  • 超精密部品、マイクロレンズ、微細形状の測定
  • 基準サンプルのピッチ、高さ校正

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