Sill OPTICS

fシータ (fθ) レンズ(スキャンレンズ)

fシータ (fθ) レンズ


XYガルバノスキャナ、またはポリゴンスキャナと組み合わせて使用されるレンズは、ƒθレンズ、
平面視野対物レンズ(Plane field object lens)、または単にスキャンレンズと呼ばれています。
ƒθレンズは、医療やバイオテクノロジー(共焦点顕微鏡、眼科)、科学や研究に加えて、工業材料のレーザ加工、
レーザドリリング(穴あけ)、 合成材料のレーザ溶接、レーザ切断など、さまざまな用途で使用されています。
BB ファイル提供も可能です。担当営業に請求ください。

適切なレンズ選択への確認項目
  • 入射レーザ(波長、ビーム径 (1/e2)、パワー、パルス幅等)
  • スポット径
  • スキャンエリア
  • 必要なワーキングディスタンス

スタンダード ƒθレンズ

スタンダードƒθレンズ

スタンダードƒθレンズは、球面状になる焦点を補正し、理想的な平面照射をもたらします。
ƒθレンズを使用することで、平面集光面が得られ、XY 画像平面 または スキャンフィールド全体にわたって
ほぼ一定のスポットサイズが得られます。像面上のスポットの位置は、スキャン角度に正比例します。

光学ガラス(BK7)と合成石英(Fused Silica)

光学ガラス(BK7)と合成石英(Fused Silica)

短パルスレーザや超短パルスレーザだけでなく、平均出力の高いレーザはレンズにとって重要な課題です。
レーザ加工は、通常の光学ガラスの特性に強く影響されます。
例えば、熱レンズ効果はビーム形状と作動距離ともに変化をもたらします。
この点、合成石英は光学ガラスと比較して熱影響に対する感度が低いという決定的な利点があり、
上記のレーザ光源での使用を強く推奨します。

テレセントリック ƒθレンズ

テレセントリック ƒθレンズ

テレセントリック ƒθレンズは、像面に垂直入射するビームを提供します。
これは、穴を開けたり、3次元(深さ)の表面を構造化したりするために必要です。
しかし、非テレセントリックレンズに比べて焦点面が小さくなるという欠点があります。
Sill Optis は、どちらの種類のƒθレンズにも、豊富なオプションと焦点距離を提供しています。

図面

色補正 ƒθレンズ

色補正 ƒθレンズ

fs パルスでは、ガラス材料中の分散は無視できますが、パルスのスペクトル幅に起因する色誤差は
決定的な役割を果たします。
パルスのスペクトル幅は、パルスの持続時間が短くなるほど、また波長が長くなるほど急激に増大します。
これにより、集光されたビームの軸方向と横方向の位置が色によって異なるカラーエラーが発生します。
結果として生じるスポットの偏差の大きさは、焦点距離と波長に依存します。
Sill はフェムト秒レーザ用に特別に設計されたƒθレンズを提供しており、このカラーエラーを補正し、
スキャンエリア全体で一貫したビーム形状を実現します。

参考資料


多波長(マルチスペクトル)ƒθレンズ

多波長(マルチスペクトル)ƒθレンズ

オンライン検査システム用に、1064nm と 532nm の色補正されたƒθレンズを市場に投入することに成功しました。色補正を行うことで、1枚のレンズで複数の製造工程を同時に行うことができます。

さらに、450nm から 650nm の波長範囲に最適化された共焦点顕微鏡アプリケーション用に設計された、
355nm と 1064nm に最適化されたレンズも提供しています。
焦点距離と作動距離は複数の波長で同一であり、その結果、全波長域でレーザと検査波長でそれぞれ同一の像場を得ることができます。

関連製品


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