NTTアドバンステクノロジ

光導波路形成用樹脂

平坦性・屈折率整合性に優れ、はんだ耐熱グレードもあり、
層間絶縁膜にも適用可能

  • 直接露光法による導波路 作製例

  • 多段の導波路の作製例(クラッド/MM導波路コアにエポキシ樹脂を使用)平坦性に優れるため、多段の導波路作成にも適しています

紫外線硬化樹脂のため、いろいろな方法で導波路作製が可能です。

  • 直接露光法
  • RIE法
  • スタンパ法

特 長

  • 屈折率を 0.001 単位で指定可能
  • 優れた光透過性
  • 粘度調整が可能であり、スピンコート時の膜厚制御性が良好
  • 屈折率を 1.43~1.62 の範囲、±0.005 の精度で制御可能

仕 様

コア / クラッド材 セット *1 主成分 屈折率@830nm 特 長
エポキシ系 コア:1.53±0.005
クラッド:1.51±0.005
コア:粘度=2,200mPas Tg=222℃
Δn=1.3% (@830nm)
クラッド:粘度=2,900mPas Tg=200℃
屈折率調整タイプ 主成分 屈折率調整範囲 特 長
エポキシ系 nD=1.43~1.62 粘度調整可能(スピンコートの膜厚制御が容易)

*1:「医薬用外劇物」含有製品です。(取扱いに関しては、SDS をご参照下さい。)
※ 表の特性値はサンプル測定値であり保証値ではございません。

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