Metrolux optische Messtechnik

VAM / VASシリーズ 可変アッテネータ

  • VAMシリーズ 可変アッテネータ

    VAM

  • VASシリーズ 可変アッテネータ

    VAS

193nm、213nm、248nm、266nm、308nm、351nm、355nm、514nm、532nm、808nm、1030nm、1064nm に対応した高出力レーザ用可変アッテネータです。

コンペンセータでビーム位置のずれを補正し、誘電体多層膜フィルタの角度を 0 度~45 度変えることによりアッテネーションをかけます。
また、ビームダンパーとしてセラミックアブソーバーを採用しています。

マニュアル調整タイプの VAM シリーズ、ステップモーターコントロールタイプの VAS シリーズをそれぞれご用意しています。

※長時間の連続使用をご検討の場合は
 水冷エレメントの追加オプションを
 ご検討ください。

※VAS シリーズのコントロールはオプションの
 『ステッパーモータ制御用コントローラ
 ML8010』 をご利用ください。

  • 高出力の CW レーザ、高パルスエネルギのパルスレーザにいずれにも対応
  • エキシマレーザと YAG レーザの全ての波長に対応
  • クリアアパーチャ(W x H)45 x 20 mm

最大ビームサイズ ca. 43 x 18 mm
サイズ(L x H x W) ca. 80 x 174 x 100 mm
重量 ca. 1.4 kg

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Manual adjustment

Product Damage Threshold * Power Density Substrate Images Transmission
VAM193 0.80 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM193 5~80 %
VAM213 1.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM213 2~90 %
VAM248 2.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM248 2~90 %
VAM266 2.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM266 2~90 %
VAM308 5.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM308 1~92 %
VAM343 8.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM343 1~92 %
VAM351 8.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM351 1~92 %
VAM355 8.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM355 1~92 %
VAM514 10.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM514 1~92 %
VAM532 10.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM532 1~92 %
VAM1030 20.00 J/cm² 100 kW/cm² FS   1~98 %
VAM1064 20.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAM1064 1~98 %

* @ 1 Hz, the damage threshold is reduced by a factor of 2; @ 10 Hz, by a factor of 5 @ 100 Hz and a factor of 20 @ 1 kHz.

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Stepper motor controlled

Product Damage Threshold * Power Density Substrate Images Transmission
VAS193 0.80 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS193 5~80 %
VAS213 1.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS213 2~90 %
VAS248 2.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS248 2~90 %
VAS266 2.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS266 2~90 %
VAS308 5.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS308 1~92 %
VAS343 8.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS343 1~92 %
VAS351 8.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS351 1~92 %
VAS355 8.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS355 1~92 %
VAS514 10.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS514 1~92 %
VAS532 10.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS532 1~92 %
VAS1030 20.00 J/cm² 100 kW/cm² FS   1~98 %
VAS1064 20.00 J/cm² 100 kW/cm² FS VAS1064 1~98 %

* @ 1 Hz, the damage threshold is reduced by a factor of 2; @ 10 Hz, by a factor of 5 @ 100 Hz and a factor of 20 @ 1 kHz.

ステッパーモータ制御用コントローラ ML8010

ステッパーモータ制御用コントローラ ML8010
  • Microprocessor for controlling linear stages
  • For stepper motor controlled variable laser beam attenuators
  • Up to 6400 steps per revolution
  • Including query of limit switches for calibration
  • Programmable position, speed, acceleration, step frequency and movement direction
  • Manual control enabled via push-buttons
仕様
Interface USB / RS 232
Motors 3 channels
Phase current max. 1 A (in total 2 A)
Modes 1/1 - 1/2 - 1/4 - 1/8 - 1/16
Dimensions 125 x 210 x 89 mm³
Weight 1.4 kg
Power input 110~240 V / 50~60 Hz
Conformity CE


VAS / VAM 用 冷却エレメント 追加オプション

VAS / VAM 用 冷却エレメント低透過モードでアッテネータを使用する場合、
レーザビーム出力の大部分はアッテネータの
ハウジングに吸収されます。

ハウジングの温度を低く保つために、
本アッテネータはオプションの冷却エレメントを
VAS / VAM に取り付けることができます。

既存の VAS / VAM に対しての冷却エレメントの
追加を行う場合は、Metrolux 社に一度返却する
必要があります。

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