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EUV 計測用 ビームプロファイラ

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    Beamlux ソフトウェア

EUV 計測で実績のある真空チャンバ取付用
フランジ付のカメラです。

Beamlux ソフトウェア(別売)と合わせて
EN ISO11145/46, 11670, 13694 に準拠した
解析が可能となっております。


仕 様

センサ 1/3" CCD
波長レンジ 13 ~ 360 nm
ピクセルサイズ 6.45 × 6.45 µm
有効エリア 8.95 × 6.70 mm
フレームレート 15 fps
ダイナミックレンジ 63 dB
インターフェース Gigabit Ethernet port
外部トリガポート

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