DOF-5 対物レンズフォーカス用
リニアサーボモータ式
Z軸アクチュエータNEW

従来のピエゾ・フォーカスステージからの置換えに

「ショート・トラベルレンジ」と「圧電鳴音」
というピエゾの制限から開放し、
スピードや分解能など、ピエゾにおける
すべての利点を低価格で提供します。

  • ピエゾフレクシャステージにはない 5mm ストローク
  • サーボ制御によりシステムコストと配線の手間を削減!
  • 高サーボ帯域(>150Hz)、高速動作、高速整定時間(100nm ステップで ±10ms)、 低位置変動、超低ジッタ
  • 分解能 1.25nm または 5nmの光学リニアエンコーダ搭載
  • 一定の力の釣り合いが対象物との衝突を回避し、モータ温度の上昇を最小化

A Better Way to Focus!

Description Value
Travel (mm) 5
Payload Mass (g) 1 0 - 1,000
Bi-directional Repeatability (nm, 2s) 2, 3 25
Servo Bandwidth (Hz) 3 ≥ 225
Encoder Feedback Resolution (nm) 1.25 or 5
Position Holding Stability (nm RMS) 5
Max Velocity (1.25nm resolution) (mm/s) 30
Max Velocity (5nm resolution) (mm/s) 125
Maximum Acceleration w/ 1kg payload (m/s²) 6
Step and Settle (100 nm within ± 15 nm) 3 < 15 ms
Dimensions (mm) (excluding objective mount) 77H x 82W x 30D
Communications options: RS232, RS485, CAN, SPI, Step & Direction 

1 Other loads can be supported, for info contact Dover Motion
2 Tested according to ISO230-2 standard, using 100nm moves
3 Specifications based on a 250g payload


Staircase plot of 100 nm moves (Laser Interferometer Data sampled at 10kHz)

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