DOVER MOTION

DOF-5 対物レンズフォーカス用
リニアサーボモータ式
Z軸アクチュエータ

従来のピエゾ・フォーカスステージからの置換えに

「ショート・トラベルレンジ」と「圧電鳴音」
というピエゾの制限から開放し、
スピードや分解能など、ピエゾにおける
すべての利点を低価格で提供します。

  • ピエゾフレクシャステージにはない 5mm ストローク
  • サーボ制御によりシステムコストと配線の手間を削減!
  • 高サーボ帯域(>150Hz)、高速動作、高速整定時間(100nm ステップで ±10ms)、 低位置変動、超低ジッタ
  • 分解能 1.25nm または 5nmの光学リニアエンコーダ搭載
  • 一定の力の釣り合いが対象物との衝突を回避し、モータ温度の上昇を最小化

A Better Way to Focus!

Description Units Value
Total Travel mm ≥ 5
Payload Mass 1 g 0 - 900 1
Full Travel Accuracy (2σ) 2,3 μm 5
Full Travel Bi-directional Repeatability (2σ) 2,3 μm 1
Bi-directional Repeatability, 100nm move(2σ) 2,3 nm ≤. 25
Home Repeatability (2σ) μm ≤ 1
Minimum Move nm 15
Servo Bandwidth 3 Hz > 225
Move and Settle (100nm step, ±15nm) 3 ms ≤ 15
Move and Settle (250nm step, ±15nm) 3 ms ≤ 15
Servo Stability nm (rms) ≤ 5
Max Velocity (1.25nm feedback resolution) mm/s 30
Max Velocity (5nm feedback resolution) mm/s 125
Max Acceleration with 1kg Payload m/s2 6
Dimensions (excluding objective mount) mm 77H x 82W x 30D
Communications Options: RS232, RS485, CAN, Step & Direction)

1 Other loads can be supported, for info contact Dover Motion.
2 Tested according to ISO230-2 standard.
3 Specifications based on a 250g payload.


Staircase plot of 100 nm moves (Laser Interferometer Data sampled at 10kHz)

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