DOF-5 対物レンズフォーカス用
リニアサーボモータ式 Z軸アクチュエータ
従来のピエゾ・フォーカスステージからの置換えに
「ショート・トラベルレンジ」と「圧電鳴音」という
ピエゾの制限から開放し、スピードや分解能など、
ピエゾにおけるすべての利点を低価格で提供します。
- ピエゾフレクシャステージにはない 5mm ストローク
- サーボ制御によりシステムコストと配線の手間を削減！
- 高サーボ帯域（>150Hz）、高速動作、高速整定時間（100nm ステップで ±10ms）、 低位置変動、超低ジッタ
- 分解能 1.25nm または 5nmの光学リニアエンコーダ搭載
- 一定の力の釣り合いが対象物との衝突を回避し、モータ温度の上昇を最小化
| Description | Units | Value |
| Total Travel | mm | ≥ 5 |
| Payload Mass 1 | g | 0 - 900 1 |
| Full Travel Accuracy (2σ) 2,3 | μm | 5 |
| Full Travel Bi-directional Repeatability (2σ) 2,3 | μm | 1 |
| Bi-directional Repeatability, 100nm move(2σ) 2,3 | nm | ≤. 25 |
| Home Repeatability (2σ) | μm | ≤ 1 |
| Minimum Move | nm | 15 |
| Servo Bandwidth 3 | Hz | > 225 |
| Move and Settle (100nm step, ±15nm) 3 | ms | ≤ 15 |
| Move and Settle (250nm step, ±15nm) 3 | ms | ≤ 15 |
| Servo Stability | nm (rms) | ≤ 5 |
| Max Velocity (1.25nm feedback resolution) | mm/s | 30 |
| Max Velocity (5nm feedback resolution) | mm/s | 125 |
| Max Acceleration with 1kg Payload | m/s2 | 6 |
| Dimensions (excluding objective mount) | mm | 77H x 82W x 30D |
| Communications Options: RS232, RS485, CAN, Step & Direction) | ||
1 Other loads can be supported, for info contact Dover Motion.
2 Tested according to ISO230-2 standard.
3 Specifications based on a 250g payload.
Staircase plot of 100 nm moves
(Laser Interferometer Data sampled at 10kHz)
データシート
DOF-5 対物レンズフォーカス用リニアサーボモータ式Z軸アクチュエータ
2.52MB 英語版 Rel.2019-04-18b
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