DIOPTIC

ARGOS　 オプティクス自動表面検査システム

ARGOS　オプティクス自動表面検査システム ARGOS　オプティクス自動表面検査システム ARGOS　オプティクス自動表面検査システム


オプティクス、ウェハーなどの表面の傷や汚れを自動で検出します。
測定は全て自動で、ISO 10110-7 に準拠して行われ、
オペレータの技量に依存しない客観的で再現性のある安定した測定が可能です。



特　長

  • ガラス、プラスチック、金属、半導体などの表面欠陥検出に
    使用可能
  • 検出された欠陥イメージを含む詳細なPDFレポート作成
  • 最大直径 200mmまでの領域の粒子、欠陥を数分でカウント、
    記録可能
  • ほぼすべての形状の球面または非球面の検査に使用でき、
    深さ方向の欠陥の位置を最大 50µmの精度で決定できます。

仕　様

  • ISO 10110-7に従い、5/1×0.016までの表面欠陥に関連する
    すべてのサイズベースの仕様で機能します。
  • 約 2.5µm のサイズから、信頼性の高いサイズ測定が可能です。

　PDF技術資料


  • ARGOS matrix

    ARGOS matrix

    • ミラー、フィルタをはじめとするオプティクスのキズ検査
    • 測定ヘッドのみでステージなしのタイプ
    • スタンドアローンで、API によるコントロール可能

    PDFデータシート

  • ARGOS matrix 200

    ARGOS matrix 200

    • 最大 8インチまでのウェハーなどの検査にも使用可能
    • ステージ付きで最大 200 x 200mmまでのサンプル測定が可能
    • 複数枚のサンプルを自動で測定可能

    PDFデータシート

ARGOS キャリブレーション サンプル

ARGOS　キャリブレーションサンプル


  • 既知のサイズと明るさで 1～100um の参照欠陥

  • 収束イオンビーム（FIB）を使用して点、キズが書き込まれた校正サンプル

  • ISO 10110-7 に従って検査するための参照サンプル。

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