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ARGOS  オプティクス自動表面検査システムNEW

ARGOS オプティクス自動表面検査システム ARGOS オプティクス自動表面検査システム ARGOS オプティクス自動表面検査システム


オプティクス、ウェハーなどの表面の傷や汚れを自動で検出します。
測定は全て自動で、ISO 10110-7 に準拠して行われ、
オペレータの技量に依存しない客観的で再現性のある安定した測定が可能です。



特 長

  • ガラス、プラスチック、金属、半導体などの表面欠陥検出に
    使用可能
  • 検出された欠陥イメージを含む詳細な PDF レポート作成
  • 最大直径 200mm までの領域の粒子、欠陥を数分でカウント、
    記録可能
  • ほぼすべての形状の球面または非球面の検査に使用でき、
    深さ方向の欠陥の位置を最大50 µm の精度で決定できます。

仕 様

  • ISO 10110-7 に従い、5/1×0.016 までの表面欠陥に関連する
    すべてのサイズベースの仕様で機能します。
  • 約 2.5µm のサイズから、信頼性の高いサイズ測定が可能です。

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  • ARGOS Matrix

    • ミラー、フィルタ、保護メガネなどの平面光学系
    • トレーに納められた複数個のフラット光学系の自動検査可能
    • 直径 約 1mm のマイクロオプティクスはワンショット測定

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  • ARGOS 200

    • 最大 200 x 200mm までのサンプル測定が可能
    • 200mm(8インチ)までのシリコンウェハーの検査に使用可能
      数十 またはサイズに応じて数百の要素の自動表面検査を
      可能にします。

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ARGOS キャリブレーション サンプル

ARGOS キャリブレーションサンプル


  • 既知のサイズと明るさで 1~100um の参照欠陥

  • 収束イオンビーム(FIB)を使用して点、キズが書き込まれた校正サンプル

  • ISO 10110-7 に従って検査するための参照サンプル。

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