CEDRAT TECHNOLOGIES

ピエゾステージ

セドラットでは主に APA の技術を用いて、ユーザ様の様々なご要求に合わせたメカニズムを開発しています。

以下はセドラット特製のピエゾステージとなります。

  • X ピエゾステージ:一軸ピエゾステージは、優れたコンパクト性、強固性、帯域幅、分解能が特長です。
  • XY ピエゾステージ:二軸ステージは、細かい位置決めや、クローズドループ制御用のひずみゲージを
    装備可能です。
  • XYZ ピエゾステージ:二軸ステージ上に Z 軸を装備します。

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X60S PDF
概 要 X 軸に最大 55μm のストロークで 10nm までの高精度ひずみゲージを装備できるピエゾステージです。
リリース プレリミナリ
X120S PDF
概 要 X 軸に最大 110μm のストロークで 10nm までの高精度ひずみゲージを装備できるピエゾステージです。
リリース プレリミナリ
XY25XS PDF
概 要 APA25XS 増幅ピエゾアクチュエータ(APA)をベースに作られてるコンパクトなピエゾステージです。ファイバの調芯、マイクロスキャン用のデバイスに最適です。
リリース 標準品
XY200M PDF
概 要 APA200M 増幅ピエゾアクチュエータ(APA)をベースに高い剛性を備えたピエゾステージです。マスクポジショニング、原子間力や走査型トンネル顕微鏡の用途があります。
リリース 標準品
XYZ200M PDF
概 要 APA200M 増幅ピエゾアクチュエータ(APA)をベースに高い剛性を備えたピエゾステージです。共焦点顕微鏡、マスクポジショニング、検査関連等の用途があります。
リリース 標準品

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