BOSTON MICROMACHINES CORP.

MEMS デフォーマブルミラー

ボストンマイクロマシンズ社のデフォーマブルミラーは先進の波面制御デバイスで、
ミラー膜とそれを下から支えるアクチュエータアレイで構成されます。

アレイ中の各アクチュエータは、意図する変形パターンを作るため静電操作によって
個別に偏向できます。

ピエゾ式のミラーとは異なり、ヒステリシスの無い静電操作でミラーの変形ができます。

MEMS デフォーマブルミラーによる先進の波面制御で、
より高いコントラスト比と分解能のイメージングが可能になります。

より高いコントラスト比と分解能のイメージング

オプティクスの性能限界、大気の乱れ、生体組織の不均一性によって引き起こされる
高次の収差を波面成形で補正します。

ボストンマイクロマシンズ社のデフォーマブルミラーは、最高の波面補正と制御で、
イメージング精度の劇的な向上に役立ちます。

LOW Actuator Count DM シリーズ
MID Actuator Count DM シリーズ
HIGH Actuator Count DM シリーズ
  • 素子数 2040~4092、次世代の天文学やレーザ通信向けの高分解能モデル
  • データシートPDF1.44MB
HEX TTP-DM
  • 1 つのミラーセグメントを 3 つのアクチュエータで保持。Tip, Tilt, Piston 動作
  • データシートPDF796KB

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