MEMS デフォーマブルミラー
ボストンマイクロマシンズ社のデフォーマブルミラーは先進の波面制御デバイスで、
ミラー膜とそれを下から支えるアクチュエータアレイで構成されます。
アレイ中の各アクチュエータは、意図する変形パターンを作るため静電操作によって
個別に偏向できます。
ピエゾ式のミラーとは異なり、ヒステリシスの無い静電操作でミラーの変形ができます。
MEMS デフォーマブルミラーによる先進の波面制御で、
より高いコントラスト比と分解能のイメージングが可能になります。
オプティクスの性能限界、大気の乱れ、生体組織の不均一性によって引き起こされる
高次の収差を波面成形で補正します。
ボストンマイクロマシンズ社のデフォーマブルミラーは、最高の波面補正と制御で、
イメージング精度の劇的な向上に役立ちます。
ラインアップ・データシート
LOW Actuator Count DM シリーズ
- 素子数 25～140、波面補正をお求め安い価格帯で
- データシート
487KB
MID Actuator Count DM シリーズ
- 素子数 492～1020、高性能を求める天文学やレーザ通信の用途に最適なモデル
- データシート869KB
HIGH Actuator Count DM シリーズ
- 素子数 2040~4092、次世代の天文学やレーザ通信向けの高分解能モデル
- データシート1.44MB
HEX TTP-DM
- 1 つのミラーセグメントを 3 つのアクチュエータで保持。Tip, Tilt, Piston 動作
- データシート796KB