定量フェーズイメージング較正試料
ベンチマーク社は、30 年にわたり半導体プロセス評価に関わる
テストレチクル、フォトマスク、等のリーディングサプライヤとして
確固たる評判を築いてきました。
顕微鏡定量フェーズイメージング (QPI) における NIST トレーサビリティを
確保した標準的な光路長（optical path length：OPL）をもつ
透過型キャリブレーションターゲットを提供します。
- 定量フェーズイメージングシステムにおける X, Y, Z 軸に関するレゾリューションを決定できます。
- NISTトレーサビリティを確保した高さ (OPL) 測定が可能です。
- 定量フェーズイメージングシステムの安定性をモニタできます。
- 他のイメージングシステムとの比較が行えます。
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基板サイズ
- 9.7 mm x 9.7 mm x 1.1 mm
- 25.1 mm x 25.1 mm x 1.1 mm
- NIST トレーサブル・高さ測定（NIST Traceable height measurement）の有・無
| 項目 | 詳細 | |
| 基板 | Corning Eagle XG glass 1.1 mm | |
| サイズ | 9.7 mm x 9.7 mm x 1.1 mm または、25.1 mm x 25.1 mm x 1.1 mm | |
| ターゲット | 基板上に積層（raised on the substrate）透過型 | |
| 屈折率 | 1.52 | |
| パターン | 4種、OPL：50 nm～350 nm (50 nm ステップ) | |
| USAF 1951 ターゲット | グループ 6 - 10、最小ピッチ：550 nm | |
| フォーカススター | 最小ピッチ：400 nm | |
| ウェディングケーキ | 高さ：50 nm、150 nm、350 nm | |
| AFM 高さ測定サイト | 250 μm x 250 μm ・高さ: 50 nm～350 nm (50 nm ステップ) | |
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| USAF 1951 ターゲット | フォーカススター | ウェディングケーキ |
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| AFM 高さ測定サイト |
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