Benchmark Technologies

定量フェーズイメージング較正試料


QPTベンチマーク社は、30 年にわたり半導体プロセス評価に関わるテストレチクル、フォトマスク、等の
リーディングサプライヤとして確固たる評判を築いてきました。

顕微鏡定量フェーズイメージング (QPI) における NIST トレーサビリティを確保した標準的な光路長
（optical path length：OPL）をもつ透過型キャリブレーションターゲットを提供します。

  • 定量フェーズイメージングシステムにおける X, Y, Z 軸に関するレゾリューションを決定できます。
  • NISTトレーサビリティを確保した高さ (OPL) 測定が可能です。
  • 定量フェーズイメージングシステムの安定性をモニタできます。
  • 他のイメージングシステムとの比較が行えます。
  • 基板サイズ
    • 9.7 mm x 9.7 mm x 1.1 mm
    • 25.1 mm x 25.1 mm x 1.1 mm
  • NIST トレーサブル・高さ測定（NIST Traceable height measurement）の有・無
項目 詳細
基板 Corning Eagle XG glass 　1.1 mm
サイズ 9.7 mm x 9.7 mm x 1.1 mm または、25.1 mm x 25.1 mm x 1.1 mm
ターゲット 基板上に積層（raised on the substrate）透過型
屈折率 1.52
パターン 4種、OPL：50 nm～350 nm (50 nm ステップ)
  USAF 1951 ターゲット グループ 6 - 10、最小ピッチ：550 nm
  フォーカススター 最小ピッチ：400 nm
  ウェディングケーキ 高さ：50 nm、150 nm、350 nm
  AFM 高さ測定サイト 250 μm x 250 μm ・高さ: 50 nm～350 nm (50 nm ステップ)

ターゲット・レイアウト

USAF 1951 ターゲット フォーカススター ウェディングケーキ
USAF 1951 ターゲット フォーカススター ウェディングケーキ
AFM 高さ測定サイト    
AFM 高さ測定サイト    

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