定量フェーズイメージング較正試料
ベンチマーク社は、30 年にわたり半導体プロセス評価に関わるテストレチクル、フォトマスク、等の
リーディングサプライヤとして確固たる評判を築いてきました。
顕微鏡定量フェーズイメージング (QPI) における NIST トレーサビリティを確保した標準的な光路長
(optical path length:OPL)をもつ透過型キャリブレーションターゲットを提供します。
- 定量フェーズイメージングシステムにおける X, Y, Z 軸に関するレゾリューションを決定できます。
- NISTトレーサビリティを確保した高さ (OPL) 測定が可能です。
- 定量フェーズイメージングシステムの安定性をモニタできます。
- 他のイメージングシステムとの比較が行えます。
-
基板サイズ
- 9.7 mm x 9.7 mm x 1.1 mm
- 25.1 mm x 25.1 mm x 1.1 mm
- NIST トレーサブル・高さ測定(NIST Traceable height measurement)の有・無
項目 | 詳細 | |
基板 | Corning Eagle XG glass 1.1 mm | |
サイズ | 9.7 mm x 9.7 mm x 1.1 mm または、25.1 mm x 25.1 mm x 1.1 mm | |
ターゲット | 基板上に積層(raised on the substrate)透過型 | |
屈折率 | 1.52 | |
パターン | 4種、OPL:50 nm~350 nm (50 nm ステップ) | |
USAF 1951 ターゲット | グループ 6 - 10、最小ピッチ:550 nm | |
フォーカススター | 最小ピッチ:400 nm | |
ウェディングケーキ | 高さ:50 nm、150 nm、350 nm | |
AFM 高さ測定サイト | 250 μm x 250 μm ・高さ: 50 nm~350 nm (50 nm ステップ) |
![]() |
![]() |
![]() |
USAF 1951 ターゲット | フォーカススター | ウェディングケーキ |
![]() |
||
AFM 高さ測定サイト |
製品に関するお問い合わせフォーム
フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。
恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。