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大型ステージ

XYZ自動ガントリ・ステージ

XYZ自動ガントリ・ステージ

  • 自動ガントリ・ステージは、移動距離380mm(15インチ)のXYステージと、移動距離100mmの移動距離をもつ大型のステージです。
  • XYステージの分解能は、3µm以下、Z方向の分解能は、0.1µm以下です。
  • オートフォーカス、オートズームを持カメラや、ビデオ顕微鏡により構成するカスタマイズが可能です。
主な仕様
XY axis range of travel 380 mm x 380 mm (15” x 15”)
XY axis resolution < 3 µm
XY axis RMS repeatability (typical) < 5 µm
XY axis maximum velocity 100 mm/sec
Z axis range of travel (typical) 100 mm (4”)
Z axis resolution (encoder step) 22 nm
Z axis RMS repeatability (typical) < 700 nm
Z axis maximum velocity 7 mm/sec

shown with standard 6.35 mm pitch lead screws

Lead Screw Pitch Options Rotary Encoder Resolution Maximum Speed (Dynamic range = 400)
  XY Z XY Z
25.40 mm (Ultra-coarse) N/A 88 nm N/A 28 mm/sec
12.70 mm (Super-coarse) 1680 nm 44 nm 200 mm/sec 14 mm/sec
6.35 mm (Standard) 840 nm 22 nm 100 mm/sec 7 mm/sec
1.59 mm (Fine) 210 nm 5.5 nm 25 mm/sec 1.75 mm/sec
データシート

MS-8000 XY自動ステージ

MS-8000 XY自動ステージ

  • MS-8000は、大型検査顕微鏡(ニコン L200/300、オリンパス MX51/61)用途のステージとして最適なステージです。
  • 開口部のあるフレームは、透過照明に使用可能です。
  • ガラスプレートインサート、多種の大型のステージ・インサート、半導体検査用の真空ウェハチャックの使用が可能です。
  • サイズ:346×346×45.5mm
主な仕様

Lead Screw Options with 141:1 Anti-Backlash Gear-Head Motors

Lead Screw Pitch Option Encoder Resolution Maximum Speed Repeatability
1/4″ 22 nm 6.4 mm/sec 0.8 µm
1/2″ 44 nm 12 mm/sec 1.6 µm
1″ 88 nm 24 mm/sec 3.5 µm

Lead Screw Options with 3.7:1 Gear Head Motors

Lead Screw Pitch Option Encoder Resolution Maximum Speed Repeatability
1/16″ 210 nm 30 mm/sec 4.5 µm
1/4″ 0.84 µm 120 mm/sec 8.0 µm
1/2″ 1.7 µm 240 mm/sec 15.0 µm

Linear Encoder Options

Axis Resolution Scale Accuracy
XY 10 nm, 20 nm, or 50nm ± 3 µm per length of scale
データシート

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