Alpine Reaserch Optics (ARO)

UV エキシマ波長用ミラー

マイクロリソグラフィやレーシック(LASIK)を用途とするエキシマレーザ用の光学部材として、
ARO 社が最も得意とするコンポネンツです。


型番をクリックしますと、カタログ (PDF) がご覧になれます。

Wavelength
(nm)
Diameter
(mm)
Thickness
(mm)
Angle of
Incidence
Reflectivity*
(%)
型番
PDFカタログ
193 25.4 9.525 97 MR1020
193 25.4 9.525 45° 95 MR1040
193 50.8 9.525 97 MR1060
193 50.8 9.525 45° 95 MR1080
248 25.4 9.525 99 MR1520
248 25.4 9.525 45° 98.5 MR1540
248 50.8 9.525 99 MR1560
248 50.8 9.525 45° 98.5 MR1580
308 25.4 9.525 99.5 MR2520
308 25.4 9.525 45° 99.5 MR2540
308 50.8 9.525 99.5 MR2560
308 50.8 9.525 45° 99.5 MR2580
351 25.4 9.525 99.5 MR3020
351 25.4 9.525 45° 99.5 MR3040
351 50.8 9.525 99.5 MR3060
351 50.8 9.525 45° 99.5 MR3080

* Unpolarized light

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