BQM-50 は Arden 社と NPL が共同開発しましたCCD カメラタイプのレーザビームプロファイラです。本システムはリキッドレンズを採用することで、従来必要とされていたステージを使う必要がありません。
CCD、CMOS、Si microbolomter のいずれかを搭載したカメラタイプのビームプロファイラです。190nm から 16µm まで様々な波長のレーザに対応したビームプロファイラを取り揃えています。大きなビーム径対応の Taper オプション(CCDセンサのみ)もあります。
スリットスキャンタイプのビームプロファイラ―はSi、InAs、InGaAs のセンサを選択することが可能です。幅広い波長に対応したユニークなプロファイラのラインアップをご紹介します。
特別仕様 ビームプロファイリングシステムのラインアップをご紹介します。
DataRay 社 ビームプロファイラのアクセサリのラインアップをご紹介します。
プレート中心にある 1.5mm 径のピンホールへ集光ビームを入射し、対物レンズを通して装置にビームが入射されます。校正された光学系を通し CCD カメラからのデータからスポット径が算出されます。
EUV 計測で実績のある真空チャンバ取付用フランジ付のカメラです。Beamlux ソフトウェア(別売)と合わせて EN ISO11145/46, 11670, 13694 に準拠した解析が可能となっております。
Pyrocam シリーズは鮮明で安定したビームプロファイルを映し出します。2D や 3D で表示された画像で、レーザの性能や運用に影響を与えるビームの特性を素早く認識する事ができます。問題を起こす可能性のあるレーザの変化に即座に警告を発します。
BeamWatch は、高出力レーザ計測の常識を覆す技術を採用した、画期的なレーザビームモニタリングシステムです。ビームに接触することなく、迅速かつ正確に、高出力レーザのモニタリングを実現します。
BeamWatch AM は、レーザを使用したアディティブマニュファクチャリング、または 3D プリンタシステム用の重要なレーザビームパラメータを測定する為に設計されました。カメラの視野内のビーム集光曲線に沿った複数のプロファイルの同時計測が可能です。
NanoScan システムはスリットスキャン式の優位性としてサブミクロンの測定精度、シリコン、ゲルマニウム、パイロエレクトリックディテクタを採用しており広波長範囲に対応しています。
レーザ特性計測器 製品一覧へ戻る