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高精度XYZステージ

高精度XYZステージ

オプトサイエンス製 XYZステージは、駆動系に高剛性ガイドとリニア駆動シャフトモータ、測長にレーザスケールを採用する事により、分解能 0.05µmという高精度を実現しました。

この高精度ステージに、エアロテック社製コントローラとドライバを組み合わせる事により、CAD CamソフトによるCAD図面をそのまま加工できるので、面倒なソフトウェアの作成が不要となり、複雑な加工も簡単に行う事ができます。

また、エアロテック社製ドライバにより、ステージとガルバノスキャナとの組合せによる同期動作による、高速微細加工と広い加工エリアの両立を実現しました。


仕様例[当社デモ機]

コントローラ/ドライバ AEROTECH社製
駆動方式 リニア駆動(シャフトモータ使用)
スケール GSI社製LDスケール
移動距離 500mm (X軸) ×250mm (Y軸) ×40mm (Z軸)
最小分解能 0.05 µm (X, Y軸),0.1 µm (Z軸)
最大速度 300 ㎜/s (X, Y軸),5 ㎜/s (Z軸)

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