• 型番:MFLI 5M / MFLI 500k 5MHz/500kHz ロックインアンプ
  • 価格:オープンプライス お見積は都度お問合せください。
  • 参考本体価格:現在ため替が不安定なため、都度お問合せください。

MFIA は、周波数範囲 DC~5 MHz におけるインピーダンス測定に対し、新しい基準を打ち立てるフルデジタル・インピーダンスアナライザ、高精度 LCR メーターです。
MFIA は、0.05% の基本確度と 1 mΩ~1 TΩ にわたる測定範囲を提供します。
自動平衡ブリッジ法などを使用せず、高精度ロックインアンプ技術を使用して、電圧と電流信号を直接高精度に測定します。
その結果、MFIA は最低 1MHz の周波数で測定することができ、1 TΩ までの信頼性の高いインピーダンス測定を提供します。
また、MFLI ロックインアンプのすべての機能を搭載してるため、DC~5MHz ロックインアンプとしても活用できます。

LabOne® ユーザーインターフェースを備えた MFIA では、FFT 付きオシロスコープ、スペクトラムアナライザ、パラメータースイーパ、測定結果の時間変化を観測し表示するプロッタ機能が標準装備されています。
これにより、測定結果の様々な解析を特別なソフトウェアをインストールすることなく行えます。

* MFIAシリーズインピーダンスアナライザには、5MHzモデルと500kHzモデルがあります。
最大周波数以外の仕様は、完全に同一です。
ご使用になられる最大周波数に合わせて選定してください。
なお、500kHzから、5MHzへのアップグレードは、MF-F5Mオプションを追加購入していただきますと、メーカーーへの返送なく、お使いのままアップグレードが可能です。

特長

  • 高性能 ADC と高速オンボード FPGA による、フルデジタルロックイン 60 MSa/s、16 bit
  • 低ノイズ・高 SNR
    ・ 入力電圧ノイズ 2.5 nV/√Hz(> 1 kHz)
    ・ 入力電流ノイズ 20 fA/√Hz(> 100 Hz)
  • 高ダイナミックリザーブ 120 dB (106 倍のノイズから信号を抽出)
  • 最大 8次(48 dB/oct)のフィルタ設定
  • 200 kHz 帯域復調器による高速測定
  • 入出力
    ・ 差動電圧入力
    ・ 電流入力(トランスインピーダンスアンプ内蔵)
    ・ 差動電圧出力
  • 低ノイズ測定の為の DC 電源駆動可
  • 小型軽量: 232 幅 x 283 奥行 x 102 高(mm)、3.8 kg
  • 各種解析ソフトウェア内蔵 (*LabOne*)
    ・ FFT付きオシロスコープ
    ・ スペクトラムアナライザ
    ・ 数値表示
    ・ 測定値時間変化表示(プロッタ)
    ・ パラメータスイーパ(周波数、出力電圧等を自動掃引)
  • 追加オプション機能:機器の返送無しにフィールドにてアップグレード可
    ・ 周波数拡張オプション
    ・ インピーダンスアナライザオプション
    ・ マルチ復調オプション
    ・ AM / FM 変調オプション
    ・ PID / PLL コントローラ
    ・ デジタイザオプション

仕様

信号入力(電圧 及び 電流)

周波数範囲 DC ~ 5 MHz
入力インピーダンス 50 Ω / 10 MΩ || 27 pF
入力電圧ノイズ 2.5 nV/√Hz (> 1kHz)
入力電流ノイズ 20 fA/√Hz (> 100 Hz)
電圧入力レンジ 1 mV ~ 3 V (8段階)
ダイナミックリザーブ 最大 120 dB
入力フルレンジ感度 1 nV ~ 3 V
A / D 変換 16 bit, 60 MSa/s

信号出力

周波数範囲 DC ~ 5 MHz
電圧出力レンジ ±10 mV, 100 mV, 1 V, 10 V
D / A 変換 16 bit, 60 MSa/s

復調器

周波数範囲 DC ~ 5 MHz
復調器数 x 1二位相(X、Y、R、Θ)    ( x 4  MF-MD 搭載時)
内蔵発振器数 x 1            ( x 4   MF-MD 搭載時)
復調器入力 信号入力(V/I)、AUX 入力、AUX 出力、トリガ入力
データ書出しレート
  1GbE: 最大 200 kSa/s
  USB: 最大 50 kSa/s
  補助 (Aux) 出力: 612 kSa/s
フィルタ時定数設定範囲 336 ns ~ 83 s
フィルタ帯域(-3dB) 276 μHz ~  206 kHz(4次 フィルタ時)
高調波設定 1 ~ 1023
フィルタスロープ 1 ~ 8次
6, 12, 18, 24, 30, 36, 42, 48 (dB / Oct)
位相分解能 10 µ 度
周波数分解能 1 μHz

補助入出力

補助 (AUX) 出力 4チャンネル, ±10 V, 18 bit, 612 kSa/s,
オフセット・倍率設定
補助 (AUX) 入力 2 チャンネル, ±10 V, 16 bit, 15 MSa/s
メイン出力に付加可

その他

PC 接続 USB 2.0, 1 GbE
クロック 10 MHz 入出力
デジタル I / O 4 x 8 bit, 双方向
AC 電源入力 100 ~ 240 V(±10 %), 50 / 60 Hz
DC 電源入力 12 V, 2 A
サイズ 232 幅 x 283 奥行 x 102 高(mm) (ラックマウントオプション有)
重 量 3.8 kg

ソフトウェア

LabOne® は計測器制御ソフトウェアで、プラットフォームに依存しない機器制御をユーザに提供します。 機器の使用に大きな柔軟性を提供すると同時に、迅速かつ効率的な操作を 保証するように設計されています。

ブラウザベースのユーザインターフェースは、タイムドメインおよび周波数ドメインの分析のための様々なツールセットを提供し、制御ループの設定、ノイズ測定の実行の他、測定データの解釈に対する高度なサポートを提供します。
プログラミングユーザには、MatLab や LabView といった汎用的な言語へのインターフェイスが利用可能です。

LabOneでは、測定に関する設定、信号発生起動/停止、測定開始/停止、測定結果の時間変化表示、統計的解析(平均・標準偏差、最小値、最大値、ピーク表示、ヒストグラム)、自動測定、フィードバック制御、PC へのストリームデータ保存、測定セットアップの保存・読出しといった、様々な設定やデータ解析を行います。

1. 機器の設定

  • 測定条件の設定
    ・ 動作周波数(出力信号周波数・ロックイン周波数)
    ・ MF-MOD オプション搭載時 AM / FM 変調信号設定
    ・ 出力電圧強度
    ・ 出力インピーダンス
    ・ 出力バイアス電圧
    ・ 入力電圧レンジ ±1 mV, ±3 mV, ±10 mV, ±30 mV, ±100 mV, ±300 mV, ±1 V, ±3 V
    ・ 入力インピーダンス 50Ω / 10 MΩ 切換え
    ・ AC / DC カップリング切換え
    ・ デモジュレータ(復調器)選択/作動
    ・ 高調波
    ・ デモジュレータ(復調器)帯域設定(時定数設定)
    ・ デモジュレータ入力信号選択 Signal Input(電圧入力)Current Input(電流入力)AUX Input
    ・ フィルタスロープ次数 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8
    ・ PC へのデータ転送速度
    ・ 位相シフト量

2. 測定結果の表示

  • 入力波形 表示(タイムドメイン (オシロスコープ) ・周波数ドメイン(FFT))
  • 出力波形 表示
  • 測定データ数値表示(X, Y または R, Θ)
  • 測定データ 時間変化表示
  • スペクトル表示

3. 自動測定設定(パラメータスイーパ)

  • 測定周波数
  • 出力電圧強度
  • 出力バイアス電圧

4. 自動制御(PID / PLL オプション搭載時)

オプション

MF-IA インピーダンスアナライザオプション

Zurich Instruments MF-IA は、MFLI ロックインアンプのためのアップグレードオプションです。 DC〜5 MHz の周波数範囲での完全なデジタルインピーダンスアナライザと高精度 LCR メーター機能を提供します。 MF-IA オプションにより、0.05% の基本精度と 1 mΩ~1 TΩ にわたる測定が可能になります。

MF-PID クアッドPID/PLLコントローラー

MF-PID オプションは4つの設定可能 PID(比例、積分、微分)コントローラーを有します。様々な計測データを基に、多くの機器パラメーターと出力値に迅速なフィードバックを行います。ロックインアンプとのシームレスな統合により、プログラマブル PID は2つのレーザーの位相同期用の PLL(フェーズロックループ)の設定や、CEO の安定化、高速 AFM モードのような幅広いアプリケーションでの動作を可能にします。LabOne® PID アドバイザは適切なパラメーターを素早く見つける手引きとなり、ステップ応答と転送機能を表示して、セットアップの深い理解をサポートします。作動中は自動調整機能により残差PID誤差を最小限に抑えるよう制御パラメーターを変更します。

MF-MOD AM/FM変調オプション

AM / FM 変調オプションにより、最大3つの発振器周波数の位相コヒーレント線形結合を生成できます。振幅変調(AM)、周波変調(FM)を含む様々な異なる変調スキームから高次の側波帯を直接測定することは LabOne® ユーザーインターフェースで簡単に設定することができます。タンデム復調のような通常の2重復調スキームとは違って、複数の機器は必要なく、最大可能復調帯域幅による変調周波数の制限はありません。

MF-MD マルチ復調オプション

マルチ復調オプションは、MFLI に拡張できます。

  • 3つの追加復調器、合計4つ。
  • 3つの追加発振器、合計4つ。
  • 1つの追加外部参照 PLL、合計2つ。

例えば、4つのプローブ計測や最大4周波数のデータを同時に信号から抽出できます。各復調器の入力とフィルタは、完全に独立しています。

MF-DIG デジタイザオプション

1つの筐体内で MFLI ロックインアンプまたは MFIA インピーダンスアナライザとデジタイザの組み合わせることにより、連続ストリーミング、領域を横断したトリガ、セグメント化されたメモリを活用して、幅広い範囲での新しい測定の機会が得られます。
2つのスコープチャネルでは、差動電圧入力や電流入力からの信号を同時に表示することができます。

MF-F5M 周波数拡張オプション |MFLI 500k のみ|

このオプションによって、ベーシックバージョンの MFLI 500k が、DC - 5 MHz 周波数幅にアップグレードできます。このアップグレードは、ソフトウェアキーによって行うため、ハードウェアを変更したり、装置の返却は必要ありません。

また、インストールは後からいつでも実行できます。アップグレードは、すでにインストールしているオプションとは独立しており、他の機能に影響することなくオシロスコープの周波数のみアップグレードします。

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