高効率Ｘ線源
fleX-Beam

従来モデルのX-Beamの性能を保ちながら、デザイン、導入、メンテナンス性において自由度を増した新しいX線源がfleX-Beamです。

fleX-Beamは、今までにない光源強度と安定性を約束するポリキャピラリオプティクスに調整された励起源です。
小型で他の機器との組み合わせし易い統合型のソリューションです。
これは空冷のX線源がフォーカスまたはコリメートのポリキャピラリオプティクスに結合された完全統合型のX線ビーム装置です。
自由度の高い設計のため、X線源やオプティクスをいつでも交換して使えます。

fleX-BeamにはフォーカスまたはコリメートレンズとX線源の組み合わせでいくつかのスタンダードラインアップがありますが、これ以外にもカスタムのご要望に対応します。

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特長
仕様
用途
技術資料

特長

高いX線束密度

フォーカスレンズとの組み合わせで50Wの光源の束密度が、12kWの回転アノードソース以上に。
コリメートレンズとの組み合わせで50Wの光源の束密度が、密閉菅Ｘ線に近づきます。

仕様

共通仕様

通常出力	50 W
通常ソース電流	1 ｍA
安定度	< 0.5 %　RSD over 8 hours, temperature independent
動作温度	5～60 ℃
冷却	内蔵型強制空冷
ターゲット	Cr, Cu, Mo, Rh, W

Standard - Focusing Beam (µXRF)

OFD (mm)	2	4	9	20	50	100
Focal spot size (µm, FWHM, Mo Ka)	8	15	25	45	100	180
Output beam intensity (photon/s)^*1	2.5 x 10⁷	5 x 10⁷	1 x 10⁸	1.5 x 10⁸	2.5 x 10⁸	3 x 10⁸

*1

Mo Kα with a Mo-anode X-Beam at 50kV/1mA.

Superflux - Collimating/Parallel-beam Optics (XRD / WDS)

Output beam diameter (mm)	0.5	1	2	3	4	6	10
Output beamintensity (photon/s)^*1	3.0 x 10⁸	1.2 x 10⁹	3.5 x 10⁹	6.5 x 10⁹	1.0 x 10¹⁰	1.3 x 10¹⁰	1.8 x 10¹⁰

*1

Cu Kα with a Cu-anode X-Beam at 50kV/1mA. Output beam divergent angle is 0.2 degree.

Superflux - Slightly Focusing Optics (XRD / XRF)

Output convergent angle (degree)	0.25	0.5	1	2
Output beam intensity	5.0 x 10⁸	1.6 x 10⁹	5.0 x 10⁹	1.6 x 10¹⁰

*1

Cu Kα with a Cu-anode X-Beam at 50kV/1mA. OFD is 140mm and focal spot size is 0.5mm.

用途

XRF（蛍光X線）

マイクロ蛍光X線分析
In-situ/in-line プロセスモニタ
微粒子分析
薄膜、プレートの厚さ測定

XRD（X線回折）

単結晶X線回折
粉末X線回折
In-situ/in-line プロセスモニタ

技術資料

データシート

fleX-Beam　高効率Ｘ線源

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高効率Ｘ線源 fleX-Beam

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