レーザー干渉式振動計

SIOS 社のレーザー振動計は全て、変位測定を応用したタイプとなっています。

測定対象上のミラーもしくは反射率の得られる粗面からの反射光を取り込むことで振動測定が可能となります。
内部の干渉計で、リファランスと測定対象までの距離の差を測定します。

SIOS 社のレーザー振動計は、変位を直接測定し、速度、加速度を算出しています。