ステージキャリブレーター SP 15000 C5
最高性能 ５軸ステージキャリブレータ
最大 15m までの測長可能な最高性能５軸ステージキャリブレーターです。
ビームスパンを広げたリフレクタユニットをスライダに載せ、さらに水平リフレクタをスライドエンドに置くことで、高精度に５軸（測長、ピッチ、ヨー、真直度（水平 / 垂直）の測定が可能となります。
ステージのキャリブレーションに超精密アライメントを提供します。
仕様
| SP 15000 C5 | SP 15000 C5 withcompact straightness |
||
|---|---|---|---|
| 長さ | 測定レンジ 分解能 |
15 m 0.1 pm |
15 m 0.1 pm |
| 角度 | 測定レンジ（ピッチ、ヨー） 分解能 |
± 5 ° 0.004 µrad |
± 5 ° 0.004 µrad |
| 真直度 | 測定レンジ 分解能 |
± 4 mm 10 nm |
± 2 mm 10 nm |
| 最大変位速度 | |||
| サイズ | センサーヘッド リフレクタ 水平ミラーリフレクタ |
192×192×122 mm 104×62×104 mm 234×43×49 mm |
192×192×122 mm 74×70×74 mm 234×43×49 mm |
| 重量 | センサーヘッド リフレクタ 水平ミラーリフレクタ |
3.5 kg 850 g 1 kg |
3.3 kg 570 g 1 kg |
技術資料
この製品に関するお問合せフォーム
フォームが表示されるまでしばらくお待ちください。
しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合、恐れ入りますが こちら までお問合せください。