ナノポジショニング / ナノ計測システム
NMM-1
AFMなど微細形状を測定するシステムは、測定対象の構造全体をイメージする際に限界に達します。
レーザー振動計、工業用顕微鏡、AFMと一緒にSIOS社のナノ測定システム：NMM-1を使用することで25mm x 25mm x 5mmのレンジを0.1nmの分解能でポジショニングが可能となります。
- 最高精度を誇る、レーザー干渉 3Dマルチセンサー位置決め計測システム
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レーザーフォーカスセンサー LFSシリーズ、AFM（原子力間力顕微鏡）、白色干渉計、
3Dマイクロプローブセンサーと使用可能
アプリケーション
- ナノレベルの物体の位置決め、操作および測定
- 超精密部品、マイクロレンズ、微細形状の測定
- 基準サンプルのピッチ、高さ校正
技術資料
データシート
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