- デモ機あり
レーザービーム安定化システム
Compact
MRC社のレーザービーム安定化システム compact は、お使いのレーザーに高精度の位置安定性を提供することができるシステムです。
クローズド・ループ・システムがリアルタイムで動作し、熱ドリフト、振動、またはその他の機械的衝撃によって引き起こされる、あらゆるタイプの偏差を排除します。空気の変動、衝撃、可動オプティクスのような高周波による影響も補正することができます。
また、本製品は、レーザービームの光路へ簡単に設置が可能なスタンドアロンなシステムです。
アナログコアを採用しているため、システムの全体的な解像度は、サンプリングレート、レイテンシー、デジタル化ステップなどによっての制限は受けません。
既存セットアップに本システムを組み込むだけで、
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①常に安定したビーム位置と方向を保証
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②アプリケーションの最高精度を達成
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③アライメントの経時的変化を阻止
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④アライメント / 検証時間の節約
４つのメリットを得ることができます。
MRC社の現場での 10 年以上に 渡る経験により、ほぼ全ての種類のレーザーで最適なパフォーマンスを保証します。
特長
- アクティブ・クローズド・ループ コントロール
- アナログシステムをコアとする最低の位相シフトの最高の制御パフォーマンス
- 時間のかかるパラメーター設定や、PCの設定は必要なし（PC不要！）
- アナログのリアルタイムコアにより、レイテンシーやデジタル化のステップはなし
- 連続光とパルス光レーザー両者の正確なポジショニング
- 超短パルスレーザー（ps, fs）に適用可能
- ミラーマウントを交換するだけで、既存のセットアップに簡単に統合が可能
- OEM バージョン可能
基本仕様
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全波長：190 nm ～ 3000 µm、THz も可能
（標準ディテクター：320 nm ～ 1100 nm） -
全繰り返しレート：単一パルスから CW まで全パルス遅延
（as, fs, ps, ns, …） -
広いダイナミックレンジ：> 1000 の係数による強度変数
（WID ディテクター使用時）
- 高速コントロール：連続的なシグナル処理、サンプリング遅延なし
- 分解能 / 精度：< 0.1 µm；< 0.1 µrad（最低 10～100 nm まで）
- ミラー径：0.5～4 インチ（ご要望によりその他のサイズも対応可能）
- OEM バージョン可能
システム構成
このビーム安定化システムには、3 つの主要なコンポーネントが あります。
最高の解像度を持つビームポジション・ディテクター、
超高速かつ堅牢なピエゾ駆動型ミラーマウント、そしてクローズド・ループ・コントローラーです。
クローズド・ループ・コントローラーは共通です。ビームポジション・ディテクターとピエゾ駆動型ミラーマウントは、
用途に応じてたモデルからお選びいただけます。
基本原理
希望のレーザーのポジションと角度は、１台または２台の ディ テクタ（4-QD、または PSD）によって定義されます。
その検出に必要なレーザービームは、高反射偏向ミラーを透過してくるレ ーザ出力のごく一部で十分です。
クローズド・ループ・コントローラーによって、ターゲット位置か らのレーザー光の偏差を連続的に判定します。
このシステムは、 ピエゾ作動型ミラーを必要とされる位置で継続的に駆動する ことで、偏差を補正します。
下図は典型的なセットアップ例です。
システム基本原理図
２台のアクチュエーターと ２台のディテクタを使用して、４次元（4D）でビームを安定させ ています。
このセットアップでは、まず アクチュエーター A / ディテクタ A のセットでアクチュエーター B の安定したポジションを維持しま す。
次に、アクチュエーター B /ディテクタ B のセットにより、ア プリケーションの正しいビーム方向が確定させます。
アプリケーション 一覧では様々なセットアップを掲載しています。併せてご覧ください。
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