オプティクス自動表面検査システム
ARGOS
オプティクス、ウェハーなどの表面の傷や汚れを自動で検出します。
測定はすべて自動で、ISO 10110-7 に準拠して行われ、オペレーターの技量に依存しない客観的で再現性のある安定した測定が可能です。
特長
- ガラス、プラスチック、金属、半導体などの表面欠陥検出に使用可能
- 検出された欠陥イメージを含む詳細なPDFレポート作成
- 最大直径 200mmまでの領域の粒子、欠陥を数分でカウント、記録可能
- ほぼすべての形状の球面または非球面の検査に使用でき、深さ方向の欠陥の位置を最大 50µmの精度で決定できます。
仕様
- ISO 10110-7に従い、5/1×0.016までの表面欠陥に関連するすべてのサイズベースの仕様で機能します。
- 約 2.5µm のサイズから、信頼性の高いサイズ測定が可能です。
製品一覧
ARGOS matrix
- ミラー、フィルターをはじめとするオプティクスのキズ検査
- 測定ヘッドのみでステージなしのタイプ
- スタンドアローンで、API によるコントロール可能
ARGOS matrix 200
- 最大 8インチまでのウェハーなどの検査にも使用可能
- ステージ付きで最大 200 x 200 mmまでのサンプル測定が可能
- 複数枚のサンプルを自動で測定可能
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