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レーザマイクロホン

振動膜を使用しないレーザ光学式マイクロホン

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AE センサの感度領域をはるかに超えるセンサとしてプロセスモニタリングや非破壊検査(NDT)に使用可能です。

独自技術によるセンサプローブは、機械的な構造を持たずに大気中を伝搬する音波を捉えることができます。

これまでの AE センサとは全く異なる
新たなるセンサです。

  • 完全非接触で使用するプローブです
  • 10Hz 程度 ~1MHz までの広い可聴周波数帯域
  • センサプローブには金属を使用していないので電磁障害の影響なし
  • 水中で使用できるモデルあり
  • プロセスのモニタリング
    • 加工プロセスのモニタリング
    • 工作機器の摩耗、異常検知
    • レーザの焦点合わせ
  • 非破壊検査(NDT)
    • パルスレーザ、加振器などの外部からの励起による音波探傷
    • CFRP、金属、ガラスなどの内部欠損、欠陥検出

例えば、レーザ加工器によるダイシング、ウェルディングの際のプロセス情報(音波情報)は
外乱(クロスジェットノイズなど:~200kHz)などにより一般的には埋もれてしまうことがあります。
これまでの AE センサの可聴範囲をはるかに超えるレーザマイクロホン(~1MHz)なら、
まだ見ぬ異常音を超音波領域で検出可能です。

媒質中を伝搬する音波は縦波です。
伝搬方向に対してごくわずかな空気の疎密を作りながら進んで行きます。
Xarion 社のセンサプローブは、ファブリぺローエタロン構造を持っており、このわずかな空気の
疎密をレーザの強度変化へと直接変換できます。
一切の機構部品をセンサプローブに使用しない Xarion の製品は、これまでの AE センサや
マイクロホンでは不可能であった 10Hz~1MHz までの広い可聴範囲を一台で実現しています。

原理

日本語カタログ
AIR:Optical Microphone
LIQUID:Optical Hydrophone


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