WEGU-DEVICE Inc.

トラッキングオートフォーカス

世界有数の液晶検査・リペア装置に搭載されている、高精度トラッキングオートフォーカスユニットです。
長年の液晶検査・リペア分野での経験により、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、高速トラッキング性能を実現しました。
対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、原理的には、ゼロフォーカスタイムの理想的なトラッキングを提供しています。カメラ、フレームグラバボードが不要で、コンパクトで軽量なユニットです。

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高速レーザオートフォーカス

高速で、正確なフォーカスを実現するための高速フィードバック信号をフォーカシングサーボシステムに供給

マルチドットと独自のアルゴリズムにより、ＴＦＴアレイ・フォトマスクなどのパターン性のマテリアル面におけるフォーカシングの正確性、信頼性を向上

• 高速性
  • トラッキングモード　：　0 sec
  • 静止モード　：　0.2 sec
• 無限遠補正光学系に対応
• あらゆる表面状態に対応
  • ベアガラス
  • フォトマスク
  • TFTアレイ
  • 太陽電池パネル
• 2倍〜100倍の各種対物レンズ対応

　- 膜厚測定機能オプション
　- AOI対応高速トラッキングモード搭載

• TFT Array inspection/repair
• Cell/Module inspection/repair- Photo
• Lithography mask inspection
• PCB inspection

デモムービー（対物50倍）

• z方向にサンプルを指で持ち上げフォーカスをずらして回復 (0〜3秒)
  
• サンプルのエッジからはずれてフォーカスを失うも戻ると即座にフォーカス回復 (7秒あたり)
  
• 平面方向に高速移動でフォーカス追従、パターン依存性が低いことが確認できます (全体:オートフォーカスOFF時はピントが徐々に外れます)

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トラッキングオートフォーカス

ATF-４は、ハイスループットを要求される現代の液晶製造・検査・リペア装置に欠かせない、高速・高精度トラッキングを提供。

世界有数の液晶検査・リペア装置に搭されその性能は実証済み。

対象物との距離を常にベストフォーカス位置に保つ機構により、原理的にはゼロフォーカスタイムの、理想的なトラッキングを実現。

カメラ、フレームグラバボード不要で、コンパクト・軽量。

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４波長Nd:YAGレーザ対応顕微鏡

ＴＦＴアレイリペアにおける、Nd:YAGレーザの４波長（266nm〜1064nm）使用を可能にし、金属、シリコンおよびＩＴＯ薄膜ならびにオープンリペア修正など、あらゆる場面でのＹＡＧレーザ４波長の有効活用を可能にします。

このＭＩＣ４は、ＡＴＦ４，ＡＴＦ５，ＬＬＣ６などのＷＤＩ製品と完全互換で、ＴＦＴアレイのみにとどまらず、

• セル、モジュールリペア
• カラーフィルター検査、リペア

に有効にご活用いただけます。

266、355、532、1064の全波長で80％以上の透過率を保証。観察系の画質への影響は最小に抑えられています。

• Nd:YAGレーザ４波長対応
• 透過率：＞80％　全波長
• クリアな観察像を可能にする観察光学系☆高速・高精度リニアレンズチェンジャー搭載
• 高輝度白色ＬＥＤ搭載により薄膜層での高コントラスト像が可能

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高輝度照明用LED

微細加工および顕微鏡用一般照明として最適の、同軸照明用白色ＬＥＤユニットです。

タングステンハロゲン球に固有の発熱、かさばるファイバーバンドル、球の定期的換から開放されます。
ＬＥＤ光源の期待寿命は、タングステンハロゲン球の５０倍と長寿命で、最小限の熱しか出さないため、うるさい振動をもたらすファン類も不要です。

• コンパクトで、軽量
• 輝度にかかわらず、色温度を一定に保持
• 低電力
• かさばるファイバーバンドル不要
• 長寿命

LED電源：CLED

チャンネル当り最大８００ｍＡの、ＰＭＷ（パルス幅制御）方式による輝度制御の可能な、３チャンネル定電流電源

ＲＧＢ照明の３チャンネル独立の輝度制御、及び同調制御も可能

８−bitデジタル信号にて制御可能