半導体検査用オートフォーカスシステム
ATF for VMU Microscope
ATF for VMU MicroscopeはトラッキングオートフォーカスATFシリーズ(※1)を組み込むための顕微鏡システムです。
ミツトヨ製顕微鏡VMU(-L)を中心にパーツの組み合わせを選択することにより、ご希望のインスペクション/リペア顕微鏡システムをセットアップできます。
※1 レーザ光源を使用した高速で、正確なオートフォーカスをクローズドループによって常に、フォーカスを維持したトラッキングオートフォーカスを実現しています。関連商品をご覧ください。
- 半導体ウエハーなど複雑なパターン
- 太陽電池パネル
- TFTのインスペクション
- フォトマスクのインスペクション
- レーザマイクロ・マシニング、MEMS等
- 有機ELインスペクション
※選択するATFのタイプによります
- AFセンサー: ATF4, ATF5, ATF6
- インタフェース for Mitutoyo VMU, VMU-L
- レンズチェンジャー: 1, 2, 5スロット
- その他
- White LED、 Color LED
- 光学フィルタ
- Z軸ステッピングーモーター(ZAA:Z Axis actuator)
関連製品
WDI社の製品一覧へ戻る