HOME取扱製品エレクトリカルコンポーネントオートフォーカスユニットWDI Wise Deviceオートフォーカス顕微鏡モジュール

VMU用オートフォーカスユニット

VMU用オートフォーカスユニットVMU用オートフォーカスユニットはトラッキングオートフォーカス ATFシリーズ (※1) を組み込むための顕微鏡システムです。

ミツトヨ製顕微鏡VMU(-L)を中心にパーツの組み合わせを選択することにより、ご希望のインスペクション/リペア顕微鏡システムをセットアップできます。

※1 レーザ光源を使用した高速で、正確なオートフォーカスをクローズドループによって常に、フォーカスを維持したトラッキングオートフォーカスを実現しています。関連商品をご覧ください。

  • 半導体ウエハーなど複雑なパターン
  • 太陽電池パネル
  • TFTのインスペクション
  • フォトマスクのインスペクション
  • レーザマイクロ・マシニング、MEMS等
  • 有機ELインスペクション

※選択するATFのタイプによります

  • AFセンサ: ATF4, ATF5, ATF6
  • インタフェース for Mitutoyo VMU, VMU-L
  • レンズチェンジャー: 1, 2, 5スロット
  • その他
    • White LED、 Color LED
    • 光学フィルタ
    • Z軸ステッピングーモータ(ZAA:Z Axis actuator)

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